コンパクトポジショニングステージ

速度: 420, 280 mm/s

電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング（微振動）がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する（オープンループの場合）、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。 耐環境性に優れたレゾルバ採用によるクローズドループ制御 モータの位置検出には弊社上位機種と同様、信頼性に定評のあるレゾルバを採用しています。 粉塵やオイルミストなどの悪い環境下でも安定した位置検出が可能です。 また、１回転あたり20480パルスと高い分解能を誇ります。

ストローク: 20 mm - 300 mm

ナノモーションFBシリーズのリニアステージは、高精度直線モーションの最小面積を実現しています。ダイレクトドライブモータによるシンプルで頑丈な構造のこのFBステージは、幅広い可動距離、トラベル、モータサイズで多軸に容易に適応し、最高10nm迄の分解能の光学エンコーダ内蔵が可能です。

ストローク: 0 mm - 200 mm
積載量: 1, 2, 5 kg

... メートル細目ネジで駆動する手動位置決めテーブル。 グリップノブで作動。 ブロンズベアリング上の2本のロッドでガイド。 頑丈で経済的なテーブル。 309Bシリーズと交換可能。 オプション 位置決めインジケーター 位置決めクランプ ベースプレート（定規付きまたは定規なし） XYまたはYZテーブルでの組み立て 手動ファインピッチスクリューテーブルの使用 テーブル付属のグリップノブで操作します。 位置のロックは、アクセスやスペースに応じて、B1位置（フロントプレートの上）またはB2位置（エンドプレートの端）で、メートルねじで行われます。 位置は、ベースプレート上のメカニカルインジケータまたは定規で確認できます。 フレームへの固定は、2つのエンドプレート（ラミネート穴）または垂直アプリケーション用の「Z軸」バージョンのエンドプレートによって行われます。 手動ファインピッチテーブルの位置決め精度 これらのテーブルの軸方向の位置決め精度は、<0.20mm（実際には0.05～0.15mm）です。これは、位置決め後に軸方向の遊びがほとんどなくなり、伝達ベアリングの遊びがなくなるため、スクリュー・ナットシステムの軸方向の遊びだけが残るからです。 2軸または3軸の手動テーブルの組み立て 手動XYテーブルの組み合わせ：XYクロステーブルを作成するために、上部テーブルのベースプレートを使用して、テーブルを1つ上に取り付けることができます。 手動YZテーブルの組み合わせ：「Z軸」バージョンの垂直テーブルは、水平テーブルの本体に直接、または本体に追加のネジを使って取り付けます。 手動テーブルの他の可能性 100%交換可能な同じテーブルで、台形ねじのタイプもあります。 ...

ストローク: 0 mm - 200 mm
積載量: 1, 2, 5 kg

... 経済的な手動位置決めテーブル。 グリップノブで作動。 ブロンズベアリング上の2本のロッドでガイド。 オプション ポジショニングインジケータ 位置決めクランプ ベースプレート（定規付きまたは定規なし） XYまたはYZテーブルでの組み立て 経済的な手動テーブルの使用 動作はテーブルに付属のグリップノブで行います。 位置の固定は、アクセスやスペースに応じて、B1位置（フロントプレートの上）またはB2位置（エンドプレートの端）にある台形ネジで行います。 位置は、機械的インジケーターまたはベースプレート上の定規で確認できます。 フレームへの固定は、2つのエンドプレート（ラミネート穴）または垂直アプリケーション用の「Z軸」バージョンのエンドプレートによって行われます。 経済的な手動テーブルの位置決め精度 これらのテーブルの軸方向の位置決め精度は、<0.20mm（実際には0.05～0.15mm）です。これは、位置決め後に軸方向の遊びがほとんどなくなるためで、トランスミッションベアリングの遊びがなくなるため、台形のスクリュー・ナットシステムの軸方向の遊びだけが残ります。 309Fシリーズでは、100％交換可能なファインピッチスクリューバージョン（ピッチ1および1.25 ...

ストローク: 0 mm - 100 mm
積載量: 1 kg

... 小型手動位置決めテーブル メートルねじM6x1による駆動 スチール製2本のロッドによるガイド オプション ハンドホイールまたはグリップノブ 位置決めインジケーター 位置決めクランプ XYテーブルまたはXYZシステムでの組み立て 精密でコンパクトな小型手動テーブル 手動テーブルの中で最も小型のテーブルです（幅54mm/高さ27.5mm）。 ねじの段差は1ラウンドあたり1mmで、このテーブルの軸方向精度は位置決め後0.05mm未満です（位置決め前は0.10mm未満）。 位置決めロックは、ベアリングの上部（B1位置）またはテーブルの端部（B2位置）のどちらかの伝達ねじで行われます。 グリップノブ、ポジションインジケータ、最大ストローク シャフトの出口には、ポジションインジケータ付きまたはポジションインジケータなしのグリップノブをねじ込むためのネジが切ってあります（ハンドホイールも使用できますが、インジケータを使用することはできません）。 最大ストロークは100mmで、任意の中間ストロークが可能です。 コンパクトなリフティングテーブル、ミニクロステーブル、ベースプレート Z軸 ...

ストローク: 50 mm - 3,500 mm
速度: 4,000 mm/s
繰返し精度: 0.05 mm

ベルト駆動アクチュエータ 多軸位置決めステージ 直動ガントリーロボット 簡単な説明： お客様はスペクトル検出装置会社です。 このモジュールは主に、分析のために材料を迅速に選別するために使用されます。80cmタイミングベルトでスクリーンまで素早く移動します。 選別作業の効率を上げるためには、荷重は35kgに達し、速度は2000mm/sに制御する必要があります。 お客様の要件に従って、当社の技術チームは次の構造を設計しました。

ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 350 mm/s - 500 mm/s

... 技術的特徴 FSL120リニアモジュール、完全密閉構造、本体幅120mm、2つのガイドと4つのスライダ、高精度、複数セグメントの繰り返し位置決め、コンパクトな構造、強い汎用性、特殊な環境での使用に適しています。 適用範囲 単軸、多軸と組み合わせて使用することができます。様々な業界で要求されるワークとのマッチングが容易で、シンプルで実用的なメカニカルアームとなります。主に、フィルム、減価償却、IC印刷、CCDオンライン検査、はんだ付け自動化装置の精密位置検出、レーザープラス（レーザー切断/レーザーマーキング/レーザー彫刻/レーザー穴あけなど）の精密組立、精密工作機械、半導体製造装置、位置検出、電子機器製造装置、3D印刷装置などの電子機器や医療機器などの特殊分野や、防塵作業場で使用されています。 シリーズFSL120 ストローク範囲50mm-1500mm 位置精度：0.02mm 最高速度：500mm/s 最大荷重：100kg ボールねじ。G1610/G2020 ...

ストローク: 100 mm - 1,050 mm
速度: 250, 500, 1,000 mm/s

... 半密閉型カスタムガントリーモジュール位置決めシステム 高精度・軽量・高剛性半密閉型スクリューリニアモジュール 適用範囲 お客様は電子製品検査装置メーカーで、製品は主に産業用カメラを搭載した電子製品検査に使用されています。 お客様からは、ドライバ、コントローラ、電源などの電気的付属品はすべて底面のベースに固定し、サイズはあまり大きくならないことが要求されています。今回のFTH12は、繰り返し位置決め精度±0.02mm、最高速度1000mm/s、最大水平荷重50KG、最大垂直荷重15KGを実現しています。精密アルミベース、軽量で高剛性。高精度、正確な位置決め、低騒音、耐食性などの長所を持ち、精度、走行速度、使用環境などに一定の要求があるほとんどの試験装置、計測器産業に適している。 ...

ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... KT105-50 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 開口部付きと開口部なし - マグネット式、低磁力式、マグネットフリー式があります。 - ...

ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 安定した高負荷xyステージ 用途：搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点： - 潤滑油の乾燥にもかかわらず高寿命 特徴： 潤滑油の乾燥にもかかわらず長寿命 - 真空度：HV / UHV / EUVの全範囲、10E-11まで - 10E-11までの潤滑液 - 開口部: 80 x 80 mm - 最大ベークアウト温度:120 オプション - 測定システム付き/なし - オプションでコントローラーFMC400/450付き - 最大 80 ...

ストローク: 5 mm - 50 mm

... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 耐荷重15～50N - トラベルレンジ 5 -50 mm - 繰り返し精度

ストローク: 0 mm - 920 mm

... RK Compact プロファイルリニアアクチュエータは、優れた価格性能比による手動調整のために設計されており、組み立てを低減し、精度を向上させながら、サプリメントや個々のコンポーネントの最適な適応性を確保します。 このユニットは、再現性を保証し、直感的な互換性のために設計されています。 サイズの範囲は、長さ単位の幅に基づいて 30 ～ 120 です。 ...

... GCM-TPSシリーズ製品は、大亨光学のコンパクトな高精度ステンレス製DeepL翻訳です。厚さは16mmで、移動量は13mmと25mmです。プラットフォームサイズはそれぞれ40X40mmと65X65mmです。いずれも高精度、小型、剛性が良い、積載量が多い、長期安定性などの特徴があり、レーザー機器などの高精度調整製品に使用できる。 フルステンレスボディの採用により、高い剛性と長期安定性を実現しました。 高精度で高負荷容量のゴシックアーチボールベアリングを採用。 小型機器に最適なコンパクト設計 ...

ストローク: 2 mm

ストローク: 46 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1770は、SLC-17シリーズの中で2番目に大きな位置決めステージです。SLC-1770は、SLC-17シリーズの中で2番目に大きなステージで、46mmの移動範囲と70×17×8.5mmのコンパクトなサイズを実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-ポジションセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1770の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-1780は、SLC-17シリーズの中で最も長い可動域を持つ51mmのモデルです。外形寸法は80×17×8.5mmと比較的コンパクトで、ノーマルフォースは30となっている。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1780の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストローク: 49 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm

... SLC-2475は、移動範囲49mm、法線方向の力30N、寸法75×24×10.5mmの製品です。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-2475の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。また、高性能なクローズドループ型の極低温タイプもあります。 メカニカル ブロッキングフォース ...

... Optoの25 x 25mmアナログ測定ステージは、反射光アプリケーション向けに特別に設計されています。 当社の測定ステージは、コンパクトで使用の自由度が非常に高いです。精度は使用するマイクロメータネジに依存し、0.001mm(1μm)という低精度を実現しています。 すべてのステージはブラックの表面コーティングが施されており、底面には三脚プレートに取り付けるための4つのM5ネジが付いています。底面にはゴム足が付いているので、滑らかな表面でもしっかりとしたスタンドができます。 Opto's ...

ストローク: 100 mm

... 当社の斜めビューアダプタと傾斜テーブルの代わりに、当社の測定ステージとスライドまたは滑空ステージがあります。 電子アセンブリなどの大型で平坦なサンプルの検査および検査には、スライドまたは滑空ステージをお勧めいたします。 これらの使いやすい位置決め装置は、試験手順の有効性を大幅に高めます。 頑丈な構造は、XとYで簡単かつ正確に移動することができ、さらに下側には滑り止めスタンドを確保するゴム製の足が設けられています。 技術的特徴： -入射光用 -コンパクトな滑空ステージ -滑空エリア100x100ミリメートル -任意の表面上で安定した位置決めのためのゴムフィート -クランプネジで両方向に固定可能 -最大10kgの弾力性 -頑丈な構造とスムーズなランニングに満足 -ステージサイズ200x200ミリメートル -最大投影：320x360ミリメートル -寸法：約300x250x58ミリメートル -重量：約3キロ ...

ストローク: 8 mm - 3,272 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 10 µm

... MLE2 リニアモータステージ：オートメーション用電気機械式アクチュエータ 高精度リニアガイドを搭載したコンパクトなリニアモジュールで、ガントリーシステムや多軸ポータルのアプリケーションに最適です。この先進的なモデルは ISO3 認証を取得しており、クリーンルーム環境での使用に最適で、厳しい清浄度と粒子制御条件下で最高の品質と性能を保証します。 このクリーンルーム用リニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度：± ...

ストローク: 34 mm - 5,652 mm
速度: 6 m/s
繰返し精度: 5 µm

... MLE5 リニアモータステージ：オートメーション用電気機械式アクチュエータ リニアモーターを搭載した統合モジュールで、現在の市場で入手可能な最高のサイズ/フォース比を提供します。このモジュールはコンパクトでありながら、大きな力を発生する能力に妥協がないため、幅広い産業用およびオートメーション用アプリケーションに最適です。 このリニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度：± 1 μm 最大加速度114 m/s2 ジョイントなしの最大長3600 ...

ストローク: 46 mm - 286 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm

... MLZ2 リニアモータステージ：オートメーション用電気機械式アクチュエータ 軽負荷に対応する垂直配向軸。このリニアモータモジュールは、コンパクトで精度と効率が要求される操作に最適なソリューションです。 このリニアモータステージの情報 このリニア軸の能力 測定システムの繰り返し精度：± 1 μm 最大加速度：203 m/s2 ...

ストローク: 10 mm
速度: 1.5 mm/s

... 当社のポートフォリオの中で、22 x 15 mm フットプリントのコンパクトな設計最小の製品を持つ10mm 旅行、 ピエゾ電動慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ。 ...

ストローク: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s

... 私たちのポートフォリオでは、 圧電慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ15 x 15 mm フットプリントのコンパクト設計最小の製品を持つ3.5mm 旅行。 ...

ストローク: 10 mm
速度: 1 mm/s

ストローク: 100 mm
速度: 40, 100 mm/s

... リフトリニアモーターモジュールは、コンパクトなフレームに精密ボールねじと循環ボールベアリングシステムを統合し、最新の生産機械の速度と精度の要件を満たします。内部のランナーブロックとキャリッジは、プリロードされたゼロクリアランスのボールねじ/ナットシステムによって駆動されます。これらのユニットは、ロータリーステッパーまたはブラシレスサーボモーターで駆動した場合、最大80 mm/秒の移動速度と5ミクロンの位置決め繰り返し精度を達成します。 ストローク、mm：100 機構：電動ボールねじ スクリューリード、mm ...

ストローク: 200 mm
速度: 40, 100 mm/s

... リフトリニアモーターモジュールは、コンパクトなフレームに精密ボールねじと循環ボールベアリングシステムを統合し、最新の生産機械の速度と精度の要件を満たします。内部のランナーブロックとキャリッジは、プリロードされたゼロクリアランスのボールねじ/ナットシステムによって駆動されます。これらのユニットは、ロータリーステッパーまたはブラシレスサーボモーターで駆動した場合、最大80 mm/秒の移動速度と5ミクロンの位置決め繰り返し精度を達成します。 ストローク、mm：200 機構：電動ボールねじ スクリューリード、mm ...

ストローク: 300 mm
速度: 40, 100 mm/s

... リフトリニアモーターモジュールは、コンパクトなフレームに精密ボールねじと循環ボールベアリングシステムを統合し、最新の生産機械の速度と精度の要件を満たします。内部のランナーブロックとキャリッジは、プリロードされたゼロクリアランスのボールねじ/ナットシステムによって駆動されます。これらのユニットは、ロータリーステッパーまたはブラシレスサーボモーターで駆動した場合、最大80 mm/秒の移動速度と5ミクロンの位置決め繰り返し精度を達成します。 ストローク： mm 300 機構：電動ボールねじ スクリューリード： ...

ストローク: 5.1 cm - 76.2 cm
繰返し精度: 4 µm
積載量: 4.5, 9.07, 15.9, 54.5, 63.6 kg

... Velmex XSlideは、小型の位置決めステージで、小型のワークのインクリメントやスキャンに最適です。コンパクトな設計のため、限られたスペースでの使用に最適です。硬質アルマイト処理されたアリ溝と滑らかな動きのPTFEベアリングで構成され、他のアリ溝設計に比べ、高い剛性で長寿命、より正確な動きを実現します。XSlidesの耐荷重は水平方向で15.9kg、垂直方向で4.5kgです。直線精度は0.001″/10" (0.076 mm/25 cm)です。 キャリッジはウェイの外側に取り付けられているため、コンパクトな設計が可能で、調整も容易に行えます。1.88″ ...

ストローク: 6.4 cm - 77.5 cm
繰返し精度: 4 µm
積載量: 63.6, 4.5, 9.07, 15.09, 54.5 kg

... Velmex XSlideは、小型の位置決めステージで、小型のワークのインクリメントやスキャンに最適です。コンパクトな設計のため、限られたスペースでの使用に最適です。硬質アルマイト処理されたアリ溝と滑らかな動きのPTFEベアリングで構成され、他のアリ溝設計に比べ、高い剛性で長寿命、より正確な動きを実現します。XSlidesの耐荷重は水平方向で15.9kg、垂直方向で4.5kgです。直線精度は0.001″/10" (0.076 mm/25 cm)です。 キャリッジはウェイの外側に取り付けられているため、コンパクトな設計が可能で、調整も容易に行えます。1.88″ ...

ストローク: 5.1 cm - 76.2 cm
繰返し精度: 4 µm
積載量: 15.9 kg

ストローク: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0 mm/s - 1,400 mm/s

... Zaber社のX-DMQ-AEシリーズデバイスは、コンピュータ制御によるダイレクトドライブボイスコイル駆動のリニアステージで、コンパクトサイズでありながら高加速度、高精度の能力を備えています。標準24Vまたは48V電源のみを必要とする独立型ユニットです。 革新的なムービングコイルアクチュエータ設計は、移動全体を通してスムーズな力出力を必要とするアプリケーションのために、力対位置のプロファイルが非常にフラットです。また、この技術により、移動質量が最小で急加速が可能であり、移動ケーブルが露出しないため高デューティサイクルを実現します。力出力により、軽量キャリッジは12mmトラベル内で最高1400mm/sの速度に達します。 内蔵のアナログ・リニアエンコーダは1 ...

ストローク: 100 mm - 1,500 mm
速度: 0.36 m/s

... ZaberのリニアステージのX-LRT-ECシリーズは、高いねじりおよびカンチレバー剛性、高負荷容量、および長寿命を備えています。 負荷容量は500kgで、ステージは360mm/sの速度と最大1200Nの推力を達成することができます。 内蔵コントローラにより、他のZaber 製品とのデイジーチェーン接続が可能です。また、オプションの統合モータ搭載エンコーダは、スリップ/ストール検出とリカバリを提供します。 最大移動長は1500mmで、ステンレススチール製ダストカバーを含みます。 ...

ストローク: 75 mm - 1,000 mm
速度: 1.5 m/s

... リニアモーターステージにコントローラを内蔵することはできますか？ （慎）はい！ コントローラ内蔵のZaberの新しいリニアモーターステージ「X-LDQ-AE」をご紹介します。 これは、その種の最初のものです-1-2-3と同じくらい簡単にセットアップします。 これらのデバイスは事前にチューニングされ、Zaberのフリーソフトウェアにより、チューニングパラメータをすばやく簡単に調整できます。 ゼロ・バックラッシュ、1.5 m/s、2.5 µm 精度、1000 mm ...

... 傾斜回転テーブル Colibrì コリブリ回転傾斜テーブルは、眼鏡製造における5軸加工のニーズに応えるために専用のNC装置を用いて設計されました。このテーブルの最大の特徴は、ダイレクト・ドライブ軸の高い運動性能と、軽合金製の非常にコンパクトなサイズです。テーブルの総重量は20Kg以下です。 ...

ストローク: 490, 440 mm
速度: 0.5 m/s

精密位置決めテーブルTUは、U字形のトラックレールの内側にスライドテーブルを配置した、コンパクトでスリムな位置決めテーブルです。 スライドテーブルは直動案内機器と一体構造になっており、大径の鋼球が２条列に配置され軌道と４点で接触する構造のため、方向や大きさが変動する負荷荷重や複合荷重が作用する使用用途でも安定した高い精度と剛性が得られます。また、U字形のトラックレールを採用することで、トラックレールのモーメントやねじりに対する剛性も大幅に向上しています。 精密位置決めテーブルTUは、トラックレール幅25mm～130mmまで８種類の大きさがあり、スライドテーブルの長さを選択することができます。また、ボールねじの種類とリード、モータの種類、センサの取付けなどの各種仕様が設定できるので、用途に合わせて最適な位置決めテーブルを構成することができます。

IKO精密位置決めテーブルTEは、主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した構造の軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。送り機構には精密ボールねじを採用しており、信頼性が高く、高精度な位置決めが可能です。直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで長期メンテナンスフリーを実現し、潤滑のための給油工数を削減することができます。ボールねじのリード、モータの種類、センサ取付けなどの各種仕様が設定できるので、用途に合わせて最適な位置決めテーブルを構成することができます。部品加工・組立・検査・搬送装置など、高い位置決め精度を必要とする装置から一般搬送分野まで幅広い用途に最適です。

IKOマイクロ精密位置決めテーブルTMは、超小型装置の分野で定評のある、トラックレール幅2mmの IKO マイクロリニアウェイLと、ねじ径2mmの精密研削ボールねじを組み込んだ、極めて小形な精密位置決めテーブルです。

ストローク: 25 mm - 50 mm
速度: 4 mm/s - 30 mm/s
繰返し精度: 1.6 µm - 2.1 µm

... LA85 - 真空リニアステージ・軸 コンパクトなフォーカスリニアステージ HV / UHV、25 mmトラベル、1.6 µm繰り返し精度、4 kg負荷 - 真空：HV / UHVの全レンジで最大10E-8 mbarまで対応 - 潤滑油：10E-8 mbarまで - 最大ベークアウト温度100°C - マグネットバージョン オプションで設定可能 - 最大 50 mm までの延長可能な移動量 - 0.3 µm までの繰り返し精度、および位置フィードバックとモニタリングのためのリニアスケールをオプションで装備できます。 - ...

ストローク: 100 mm
速度: 10 mm/s

... - 真空：全レンジ HV / UHV 最大 10E-8 mbar - 潤滑油：10E-8 mbarまで - 最大ベークアウト温度100°C - 開口部：X 90 x 90 mm、Y 150 x 150 mm アパーチャー付き位置決めシステムは、高真空や超高真空のアプリケーションのための精密で頑丈なXYステージを設計するために、2つのリニアステージから結合されました。プロファイルレールガイドと高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、優れた精度と設置スペースの最適化を実現します。 また、回転ステージDT155との組み合わせが容易で、幅広い用途に対応します。 適用分野 ラボ用精密位置決め、顕微鏡・半導体技術、超高真空・極端紫外線下での研究、試料作成、試料走査、試料処理、バイオチップ、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、カメラ調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン ...

ストローク: 50 mm
速度: 2.5, 25 mm/s

... アパーチャとクロスローラベアリングを採用したXYステージは、高真空、超高真空、極端な紫外線下での用途に高いダイナミクスとスピードを提供します。そのサイズに比べ、非常に小さなステップサイズを可能にします。 ピエゾモータを搭載し、ナノメートル領域での微小なステップを実現し、ほとんど到達できないほどの位置安定性を実現しています。ナノモーションにより、非常に高いダイナミクスと高速性を実現し、マイクロメートルレンジの精度で最大限の耐用年数を達成しています。 MT105リフティングステージと簡単に組み合わせることができるため、多くのアプリケーションの可能性を提供します。 応用分野 ラボ用精密位置決め、顕微鏡および半導体技術、超高真空および極端な紫外線下での研究、試料作成、試料スキャン、試料処理、バイオチップ、ウェハー検査、ウェハーアライメント、カメラ調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン ...

ストローク: 90 mm

ストローク: 80 mm

ストローク: 5 mm

ストローク: 160 mm
速度: 0.1 m/s
繰返し精度: 10 µm

... 401XE テーブルは、駆動系とガイダンスに高集積モノキャリアを使用しています。幅わずか30mm、ストローク160mm、荷重157Nというサイズと性能は、ライフサイエンスから電子機器製造まで、幅広い用途に対応します。 401XE シリーズ リニアポジショナーは、堅牢なスチール製 U チャンネルボディと精密ボールスクリューを一体化しています。このステージの設計は、ガイダンスシステムとドライブトレインが互いに密接に統合されている点でユニークです。このステージは、高精度を実現しながら、非常にコンパクトでコスト効率の高いものとなっています。このシリーズのステージは、様々なペイロードに対応できるよう3種類のプロファイルサイズがあり、多軸システムに容易に構成することができます。401XEの性能に見合った様々なステッピングモータが予め選択されており、設計の手間を最小限に抑えることができます。401XEは、ライフサイエンス、電子機器製造、半導体、一般機械製造など、さまざまなアプリケーションに適用されています。 - ...

ストローク: 0 mm - 2,860 mm
速度: 1.3 m/s - 1.5 m/s

... - あらゆる用途に対応するドライブシステムとしてフレキシブルに構成可能 - 4種類のサイズを用意し、長さ単位を細かく設定可能 - 高い剛性、位置決め精度、再現性 - 移動範囲全体にわたって高精度の手順動作を実現 - 適切なレックスロスモーターと豊富なアクセサリー ...

ストローク: 200, 100 µm

... - 5msまでのステップ・アンド・セトル - 全高20mmと低く、組み込みが容易 - 93 mm × 65 mm のクリアアパーチャ - デジタルピエゾサーボコントローラE-709を納入範囲に含む - USB、RS-232、アナログインターフェース - 画像処理ソフトウェアMetaMorphに対応 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 計測技術 - バイオテクノロジー - 半導体検査 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性が高いため、高い負荷容量を持ち、衝撃や振動の影響を受けません。また、100％真空対応で、幅広い温度範囲で使用できます。 生産性の高い動作を実現する豊富なソフトウェア MATLABとNI ...

ストローク: 160, 35, 110, 60 mm
速度: 145, 200 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... ANT130LZSステージは、超薄型の垂直運動性能の最高峰です。 極めて低い摩擦特性を持つデュアルサイドマウント空気圧式カウンターバランスを特徴とし、精度、再現性、スピード、信頼性を見事に兼ね備えています。ANT130LZSステージは、印象的な動的性能と十分な負荷容量により、コンパクトなフォームファクターで優れた垂直運動が必要な場合に理想的な選択です。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大160 ...

... -3D調整：ティルティング2軸、回転1軸 -細目ねじスピンドル、クランプ装置付 -測定用トランスレーション、DeepLトランスレーション、光学テーブルへの設置。 せいじょう -コンパクトなデザイン -3D調整：ティルティング2軸、回転1軸 -光軸下部の調整ネジ -細目スピンドル -クランプ装置付き -変形しにくいアルミニウム -反射防止加工、黒アルマイト 導入方法 -を測定し、ベースプレートでDeepLトランスレーションを行います。 -取付板付き光学テーブル上 ...