ナノ位置決めステージ

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リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
ANT95L series

ストローク: 100, 50, 75, 25 mm
速度: 500, 145 mm/s

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションと位置決めのニーズに対応するリーディングソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高の製品で、様々な構成でご利用いただけます。さらに、優れた動的性能と強化された負荷容量により、ANT95Lステージはお客様のプロセスを向上させるための優れた選択肢となります。 設計の特徴 -第二世代の強化された設計 -最小0.5nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -最大100mmまでの移動量において、ナノメートルレベルの位置決め性能を実現。 -高精度クロスローラベアリングを採用し、優れた動的性能と余裕のある負荷容量を実現。 -アイアンレス・ダイレクトドライブ・リニアモーターにより、プロセスのスループットを最適化し、信頼性を最大化 -多軸アセンブリおよびモーションサブシステムに簡単に統合可能 主な用途 ANT95Lステージは、以下のような高精度かつ高ダイナミックな位置決め用途に最適です。 -フォトニクスの組み立てと検査 -ファイバーアライメントと最適化 -光学部品製造、試験、検査 -センサー試験と認定 -半導体の処理と検査 -研究及び実験室の適用 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SLC-1720

ストローク: 12 mm
速度: 20 mm/s

... SLC-1720は、スマーアクトのSLC-17シリーズの中で最も小さいナノメートル精度のリニアステージです。22×17×8.5mmという世界最小のクローズドループピエゾステージで、ナノメートルの分解能とマクロスコピックの移動範囲を実現しています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-ポジションセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用の1720の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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SmarAct GmbH
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SLC-1730

ストローク: 21 mm
速度: 20 mm/s

... 寸法30×17×8.5mm、移動範囲21mm、常用荷重20Nのスモールナノメートル精密リニアステージSLC-1730。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料には、S-ポジションセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用の1730の寸法と仕様が記載されています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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SmarAct GmbH
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-12090

ストローク: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s

... SOM-12090は、長さ226mm、幅176mm、高さ30mmと、スマーアクトで2番目に大きな顕微鏡ステージです。ステージの移動範囲は、X軸83mm、Y軸63mmです。このステージは、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを提供する、スマーアクトのコンパクトなSLCリニアステージをベースにしています。 ブレッドボード対応のベースプレートと標準インサート用アダプターにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズ性も高い。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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SmarAct GmbH
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
COR-PS

... Phi Driveは、小型で非常に小さな変位が必要とされる産業、研究、計測の市場分野向けに、ナノメートル位置決め圧電ステージを開発しました。 ナノメートルまたはサブナノメートルの変位を達成することは容易ではなく、このシステムは外部ノイズに非常に敏感であることが多いです。COR-PS製品群のステージは、以下の特徴を備えているため、ノイズの発生源に強くなっています。 慣性力の高いスチールとエルガルのハイブリッドレイアウトにより、機械的な振動にも安定感を与えます。 ノイズを最小限に抑え、外乱に対する堅牢性を高めるために特別に設計されたエレクトロニクス すべてのCOR-PSステージは、圧電アクチュエータと変位増幅型たわみ機構を採用しています。 ナノメートルの分解能。15~0.18 ...

回転ナノ位置決めステージ
回転ナノ位置決めステージ
AG-PNE

... AG-PNEは、高精度な空気式位置決め装置です。 空圧室はローターを変形させて回転させます。このような変形は、伝搬する波のようにイメージすることができます。 ステップ角は要求に応じてカスタマイズ可能で、度数から100分の1度までの範囲をカバーしています。 貫通穴があるため、ケーブルが届きやすく、操作部内部の機器に電源を供給することができます。 オートメーション産業に適したこのアクチュエータは、必要とされる拘束力と特性に応じて、様々なバージョンをご用意しています。標準タイプとマイクロタイプがあります。 概要 - ...

回転ナノ位置決めステージ
回転ナノ位置決めステージ
AG-PIEZO

... 圧電材料は高精度位置決めとモーションコントロールの世界に革命を起こしました。Phi Driveはこれらの材料を使用して、制御されたローターの変形を発生させることができるアクチュエータを開発しました。 Phi Drive社のアクチュエータは、サブナノメートルの伸び、高周波数、力の特性という重要な原理に基づいて作られています。設計の柔軟性により、性能を犠牲にすることなく、お客様のご要望にお応えすることができます。 2 つのモータを重ねて使用することで、高い性能と高い冗長性を保証し、追加の負担をかけずに ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
OP400

ストローク: 400 mm

... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NT...V

ストローク: 10 mm - 120 mm

... IKO Nano Linear NT... Vコンパクトリニアモーターテーブルは、光学リニアエンコーダ用の磁石とスケールを可動鋼テーブルに、リニアエンコーダ用の固定子コイルとヘッドをスチールベッドに配置することで、機能的な美しさを持っています。 C 潤滑式リニアウェイLは、5 年、または20,000kmのメンテナンスフリーサイクルを有するテーブルの導電部に使用されます。 ローターに高性能ネオジム磁石を使用することで、最大 36Nの推力が得られるため、高速高速高速応答位置決めが可能です。 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
KLT300 series

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空:HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油:最大10-8 / ドライ:最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - アパーチャー: 80 x 80 mm オプションで設定可能 - 測定システム付きまたは測定システムなし - オプションでリードスクリュー駆動または潤滑式ボールスクリュー駆動による高速化も可能 - 回転アプリケーション用に回転テーブル(例:DT155)との組み合わせが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
MT53-PM

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... クロスローラベアリングとピエゾモータを採用した、ナノメートル領域でのステップ動作が可能なマイクロステージです。 高分解能マイクロステージ Steinmeyer Mechatronik製品群の中で最小のステージは、非常に高い解像度を提供します。その小型化設計により、スペース要件が制限され、高水準が要求されるアプリケーションに最適です。 ピエゾモーターによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域でのステップを可能にします。真空および非磁性体バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に完全に適しています。 マイクロマシニングとマイクロアセンブリに理想的なステージ MT53は、要求の厳しいマイクロマシニングやマイクロアセンブリの用途に使用することができます。また、研究開発用途や半導体産業にも理想的な配置が可能です。 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
X-417 series

ストローク: 204 mm - 407 mm

... コントローラ付きXY(Z)ポジショニングシステム - 短納期対応 - 2台のV-417ポジショナーで構成されたXYシステム、移動範囲は204~407mm - Z軸にL-412ポジショナーを使用したXYZシステム、トラベルレンジ102mm - G-901 ACSコントローラとACSドライバモジュールを装備 - オプションで花崗岩製のベースプレートを用意 - 豊富なテストレポートをお届け - 豊富な付属品、ソフトウェアサポートあり 統合多軸システム - IMAS 多軸システム「X-417」は、動特性や精度への要求が高い産業用アプリケーション向けの統合ソリューションです。適切なPI社のACS高性能コントローラを搭載したXYシステムまたはXYZシステムを用意しています。ベースシステムは、リニアモーターと絶対値測定リニアエンコーダを備えた2台のV-417高負荷リニアステージからなるXYシステムです。複数の移動量を組み合わせて使用することができます。204mmから407mmまで。XYシステムでは、花崗岩プレートを使用することも可能です。XYZシステムでは、Z軸に高荷重リニアステージL-412(移動量102mm、同期サーボモータ、保持ブレーキ付き)を使用します。XYZシステムには花崗岩プレートをベースにしたシステムもあり、これらのシステムでは、Z軸を花崗岩ベースに固定するためのアダプターブラケットが付属しています。 オプションとアクセサリー - ...

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Physik Instrumente
回転ナノ位置決めステージ
回転ナノ位置決めステージ
FBR series

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。

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Johnson Electric/ジョンソン エレクトリック
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.1, 0.2, 0.4 mm

... NPX Piezo Stack リニアステージは、コンパクトなパッケージで、1 軸、2 軸、または3 軸で長いトラベルおよびサブナノメーターの分解能モーションを提供します。 これらのデバイスは、高速応答と高速セトリング性能を特長とし、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステッピング、または連続スキャンなどの動的プロセスで使用できます。 サブナノメートル圧電位置決め分解能 X、XY、またはXYZでのモーション 最大 400 µmの圧電移動範囲 (オプション)クローズドループ動作用の統合型ひずみゲージ 高ダイナミックアプリケーション向け高共振周波数 バキュームバージョン ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
PXY Series

ストローク: max 16.0 µm

... Piezosystem Jena のPXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 このツールは、光学系、ファイバーの位置決め、レーザー技術、2Dスキャンモーション、自動および電波処理システムなどの特定のアプリケーションに最適です。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
VZMP series

ストローク: 5 mm - 80 mm

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
Model ZSA-1000C

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ

ストローク: 30, 12, 6 mm

... ピエゾポジショナー&ステッパ駆動アクチュエータ OME技術は、ピエゾアクチュエータまたはポジショナの設計特許、コア技術、製造経験を習得しています。 私たちは、クライアントの要件に合わせて、さまざまな製品オプション(標準、カスタマイズ、またはODM)を提供します。 私たちは、 JDM(設計製造に参加)サービスを提供することを喜ばしく思います。 特許取得済みのピエゾ駆動技術に基づき、1軸および 多軸ポジショニング用のリニアステージ、回転ステージ、アクチュエータを提供しています。 ...