モーター式ナノ位置決めステージ

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

ストローク: max 16.0 µm

... Piezosystem Jena のPXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 このツールは、光学系、ファイバーの位置決め、レーザー技術、2Dスキャンモーション、自動および電波処理システムなどの特定のアプリケーションに最適です。 ...

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...