リニアナノ位置決めステージ ZFA

ボイスコイルクロスローラー精密

パーカー社のZFAシリーズ「光機械式フォーカシング・ナノポジショナー」は、コンパクトな筐体でありながら、ナノメートルレベルの安定性、高速な定常到達時間、および高精度を実現しており、ライフサイエンス、半導体、およびmeパーカー社のZFAシリーズは、ナノメートルレベルの安定性と超低定常到達時間が求められる用途向けに設計された、光機械式フォーカシング・ナノポジショナーです。 この高精度ポジショナーは、クロスローラーガイドとボイスコイル駆動システム、そして先進的なリニアエンコーダ技術を特徴としており、要求の厳しい作業においても最適な性能を発揮します。95 × 90 × 36 mmというコンパクトな筐体には、オプションの外部カウンターバランスを使用することで最大2 kgの対物レンズ質量に対応可能な堅牢な機構が収められています。 ZFAは、内部に構成可能な磁気カウンターバランスと調整可能なハードストップを備えており、さまざまな用途のニーズに対応可能です。高速ステップ移動および定位置到達動作を想定して設計されており、重要な用途における画質とスループットを大幅に向上させるため、デジタル病理学、次世代シーケンシング、動的計測、レーザー加工などの分野に最適です。 ZFAは、装置の寿命を通じて一貫した性能を確保し、比類のない安定性と分解能を提供しながら、総所有コスト（TCO）を削減します。 対象市場： •電子機器製造 •ライフサイエンス •半導体 •計測 主な特長： •ナノメートルレベルの安定性と1桁のナノメートル単位の分解能 •可動ケーブルのない高ダイナミックレンジのボイスコイル駆動 •最大1 kgの荷重に対応する内蔵磁気カウンターバランス、最大2 kgまで対応するオプションの外部カウンターバランス •CEおよびRoHS準拠 •コンパクトな筐体：95 x 90 x 36 mm