MX80Lは、鉄心リニアモーター、一体型高分解能フィードバック、およびクロスローラーガイドを備えた高精度ミニチュアリニアステージです。幅わずか80mm、高さ25mmというコンパクトなサイズでありながら、最大200mmのストロークと78Nの耐荷重を実現しています
MX80Lは、ガイド部にアンチケージクリープ式または標準的なクロスローラーベアリングを採用し、駆動部に鉄心リニアモーターを搭載した、高精度なミニチュアリニアポジショナーです。MX80Lは、幅わずか80mm、高さ25mmという極めてコンパクトな設計となっています。 この小型筐体には、ステージのガイド、リニアモーター、リニアエンコーダ、およびリミットセンサーとホームセンサーがすべて収められており、ライフサイエンスや光学市場におけるスペースが限られた用途に最適なポジショナーとなっています。MX80Lは、標準のトランジションブラケットを使用することで、多軸構成に容易に構成可能です。
対象市場:
• ライフサイエンス
• フォトニクス
• エレクトロニクス製造
• 半導体
特長・メリット:
• フレーム幅 80 mm
• 25、50、100、150、200 mmの5種類の標準ストローク
• 位置決め繰り返し精度:±0.4ミクロン
• 内蔵光学エンコーダの分解能:1.0、0.5、0.1、0.02、0.01ミクロン
• 最高速度:2000 mm/秒
• オプションで4極または8極のリニアモーター駆動システムを選択可能
• 最大積載荷重:78 N
• 最大推力:24 N
• ホーム位置およびリミット検知機能を内蔵
• 標準的な多軸構成が利用可能
• 各精度グレードのステージごとに、傾斜補正値を含むレーザー試験データを提供
用途:
• クリーンルーム
• 液体ハンドリング/バイオメディカル
• 計測
• サブミクロン精度のモーション
• 小型多軸位置決めシステム
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