リニアナノ位置決めステージ NPX series

圧電3軸コンパクト

NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、または3軸の長い移動量とサブナノメートルの分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を特長とし、高周波エラー補正、トラッキング、高速ステッピング、連続スキャンなどの動的プロセスで使用できます。 -サブナノメーターのピエゾ式位置決め分解能 -X、XY、またはXYZでの動作 -最大400 µmのピエゾ移動範囲 -クローズドループ動作のための内蔵ストレインゲージ（オプション -高ダイナミックアプリケーション用の高い共振周波数 -真空バージョンあり 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、制御電子機器のノイズによってのみ制限される分解能で超微細な調整が可能です。 大きなピエゾ移動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧ピエゾトランスデューサスタックを特徴とし、高デューティサイクルの操作に対応します。洗練されたFEA最適化された平行四辺形ソリッドステートフレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 µmの移動範囲が保証されます。摩擦のないガイド原理により、NPXピエゾスタックリニアステージはメンテナンスフリーで、摩耗の影響を受けません。さらに、出力モーションの感度は機械的摩擦の影響を受けません。 クローズドループ動作のための内蔵ストレインゲージ（オプション クローズド・ループ・システム (-SG モデル ) は、アクチュエータのクリープも補正する、高精度で再現性のあるモーションのための高分解能ストレインゲージ位置センサを備えています。アセンブリは完全なホイートストンブリッジとして行われ、温度に影響されません。