縦型ポジショニングステージ GTS series

リニアモータ駆動単軸クロスローラー

GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を達成します。その薄型で高精度なモーション能力により、このステージは半導体ウェハ検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適です。 -コンパクトなユニットに30mmまたは70mmの高精度垂直移動が可能。 -あらゆる方向からペイロードへのアクセスが可能 -クリープ防止クロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと卓越した軌跡精度 -内蔵リニアエンコーダによる高感度、優れた再現性、高精度モーション ダイレクト垂直ガイド GTS30Vにはマッチドペアのアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vにはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを採用し、高精度な垂直移動を実現しています。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌跡、滑らかで正確な動き、堅牢で長期的な動作を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラーベアリングには、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 精密研磨された低摩擦リードスクリューを備えた折りたたみ式DCモーターは、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現します。モーターとリードスクリュー間の減速ベルトは、利用可能な出力トルクを増加させ、サーボ感度を低減し、100nmのMIMを保証します。