Z軸ナノ位置決めステージ Model ZSA-1000C縦型圧電1軸

Z軸ナノ位置決めステージ
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参考価格 

特徴

方向
Z軸, 縦型
タイプ
圧電
軸の数
1軸
その他の特徴
ステンレススチール製, 高速
ストローク

最大: 1 mm (0.039 in)

1 mm (0.039 in)

最少: 0 mm (0 in)

詳細

DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 • オープンループ・トラベル:1050ミクロン ± 10 % • クローズドループ・トラベル:1000ミクロン ± 10 % • クローズドループ分解能 :20ナノメートル代表剛性:0.4N/ミクロン ± 10 % • 直線性:0.12%(標準)• ランアウト():100マイクロラジアン標準 • 無負荷共振周波数:200Hz ± 10 % • 共振周波数 @ 100g: 150 Hz ± 10% • プッシュ/プル フォース容量: 75/150 N 最大 • 負荷容量: 75 N マックス • 横力: 10 N マックス • 電気容量: 30マイクロファラード ± 10% • 幅 x 長さ: 62.5 x 125 mm • 高さ: 25.1 ± 0.1 mm • 質量: 1キログラム ± 10% • 材質: ステンレススチール • ケーブル長さ: 1.5メートル ZSA-1000Cの構造は、真のナノポジショニングモーション制御能力を実現する容量性プローブ(標準)を含む様々な変位センサの使用に容易に対応します。 DSMのSA-500サーボアンプは、シリアル通信、アナログまたはデジタルフィードバック、および追加の制御および通信機能のためのデジタルI/Oを備えたスタンドアロンクローズドループ制御を提供します。

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カタログ

Model ZSA-1000C
Model ZSA-1000C
1 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。