Z軸ナノ位置決めステージ Model ZSA-1000C

縦型圧電単軸

DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 • オープンループ・トラベル：1050ミクロン ± 10 ％ • クローズドループ・トラベル：1000ミクロン ± 10 ％ • クローズドループ分解能 ：20ナノメートル代表剛性：0.4N/ミクロン ± 10 ％ • 直線性：0.12%（標準）• ランアウト（）：100マイクロラジアン標準 • 無負荷共振周波数：200Hz ± 10 ％ • 共振周波数 @ 100g: 150 Hz ± 10% • プッシュ/プル フォース容量: 75/150 N 最大 • 負荷容量: 75 N マックス • 横力: 10 N マックス • 電気容量: 30マイクロファラード ± 10% • 幅 x 長さ: 62.5 x 125 mm • 高さ: 25.1 ± 0.1 mm • 質量: 1キログラム ± 10% • 材質: ステンレススチール • ケーブル長さ: 1.5メートル ZSA-1000Cの構造は、真のナノポジショニングモーション制御能力を実現する容量性プローブ（標準）を含む様々な変位センサの使用に容易に対応します。 DSMのSA-500サーボアンプは、シリアル通信、アナログまたはデジタルフィードバック、および追加の制御および通信機能のためのデジタルI/Oを備えたスタンドアロンクローズドループ制御を提供します。