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ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... - モーター駆動に比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...
ストローク: 30, 70 mm
速度: 10, 5 mm/s
... GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を達成します。その薄型で高精度なモーション能力により、このステージは半導体ウェハ検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適です。 -コンパクトなユニットに30mmまたは70mmの高精度垂直移動が可能。 -あらゆる方向からペイロードへのアクセスが可能 -クリープ防止クロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと卓越した軌跡精度 -内蔵リニアエンコーダによる高感度、優れた再現性、高精度モーション ダイレクト垂直ガイド GTS30Vにはマッチドペアのアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vにはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを採用し、高精度な垂直移動を実現しています。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌跡、滑らかで正確な動き、堅牢で長期的な動作を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラーベアリングには、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 精密研磨された低摩擦リードスクリューを備えた折りたたみ式DCモーターは、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現します。モーターとリードスクリュー間の減速ベルトは、利用可能な出力トルクを増加させ、サーボ感度を低減し、100nmのMIMを保証します。 ...
ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.02 mm
... ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証取得。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタムデザイン、プロジェクトについてご相談ください。 1.ベルト駆動かボールねじ駆動か？ 2.どのくらいのストロークが必要ですか？X=?Y=?Z=? 3.負荷容量と速度範囲は？ 4.モーションコントローラ、ドライバ、電源は必要ですか？ ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 250 mm/s
... 技術的特徴 FSK40リニアガイドは、半シーラー構造、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、調剤、スプレー塗装、外観検査、移動、把持、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: ...
FUYU Technology
ストローク: 100 mm - 1,200 mm
速度: 300 m/s
... 技術的特徴 FSL60リニアガイド、完全密閉構造、本体幅60mm、ハードな環境で防塵使用するために設計され、ホコリや雑多な破片が本体構造に落下し、作業に影響を与えることを避けるために、大きなストレッチ、小さな圧縮、変形することなく、ハードオブジェクトの衝突、耐オレイン酸、高温耐性、長寿命。 適用範囲 単軸または多軸と組み合わせて使用できる。様々な産業で必要なワークに合わせやすく、シンプルで実用的な機械アームになります。主にフィルム、ディスカウント、IC印刷、CCDオンラインテスト、はんだ自動化装置などの電子機器や医療機器などのダストフリー作業場や特殊な分野で使用されています。 認証ISO、CE、FCC、RoHS シリーズFSL60 ストロークの範囲50mm~1200mm 刈り取られた位置の正確さ: ...
FUYU Technology
ストローク: 400, 600, 800, 2,500, 1,000 mm
速度: 10 mm/s
... 電動翻訳ステージGCD-302シリーズは、ロッドリニアガイドの設計に実装され、高い負荷容量を持っており、長い移動長さと重い負荷に適しています。 ...
ストローク: 1,500 mm
速度: 10 mm/s
... 電動翻訳ステージGCD-302シリーズは、ロッドリニアガイドの設計に実装され、高負荷容量を持っており、長い移動長さと重い負荷に適しています。 ...
ストローク: 51 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1780は、SLC-17シリーズの中で最も長い可動域を持つ51mmのモデルです。外形寸法は80×17×8.5mmと比較的コンパクトで、ノーマルフォースは30となっている。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-1780の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。 メカニカル ブロッキングフォース ...
SmarAct GmbH
ストローク: 103 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 103mmのSLC-24150は、SLC-24シリーズで2番目に長い移動範囲を特長とします。サイズは150 x 24 x 10.5mmで、法線力は30Nです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-24150の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 123 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-24180は、SLC-24シリーズの中で最も長い123mmの移動範囲を提供します。サイズは180 x 24 x 10.5 mmで、法線力は30 Nです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気またはHV環境用のSLC-24180の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、いつでもお気軽にお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 200,000 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 1 µm
... 広い作業領域を持つガントリースタイルの直交ロボット。すべての可動軸は作業エリアの上部に配置されています。 - XYZガントリー 300 x 300 x 50 mm移動 - ボールねじ機構 - ステッピングモーターまたはサーボモーター駆動 オプション - 移動ストロークの大小 - 精密グレード - ボールねじリード - モータータイプ（ステッパーまたはサーボ/エンコーダー） - ロータリーテーブル設置 VISUAL IMACアイコンベースのコントローラーで簡単プログラム。コードを一行も書く必要なし！ ...
ストローク: 25 mm
繰返し精度: 0.04 µm - 0.2 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s
... Zaberの新しいクローズドループリニアステージであるX-LRM-DEは、熱安定性と優れた剛性を提供する硬化スチール構造と再循環ボールベアリングガイドを備えています。 内蔵リニアエンコーダは、デバイスの全走行時に高精度な位置決めを提供します（200 mm 以上 15 µm 精度）。 これらのステージは、カンチレバー荷重下で優れた安定性が求められる多軸構成やアプリケーションに最適です。 ZaberのすべてのXシリーズ製品と同様に、X-LRM-DEはデータとパワーをデイジーチェーン接続できます。 内蔵コントローラおよびエンコーダ、50nm ...
ストローク: 1 mm - 500 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA80 高速UHVリニア軸 用途：高速搬送ステージ 利点：乾式潤滑にもかかわらず高寿命 特徴：乾式潤滑ボールねじ駆動 - 真空度： HV / UHV / EUVの全レンジ、10E-11 mbarまで - 磁気: 磁気 - 潤滑： 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbar まで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 測定システム付きと測定システムなしのオプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - 高速XYZ搬送システム（例：LA90、LA95、LA170）との組み合わせが可能です。 - ...
ストローク: 302 mm
速度: 40 mm/s
繰返し精度: 0.7 µm
... H112ステージは、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など幅広い分野のスキャンに最適です。H112は、12インチ（300mm）ウェーハを容易に収容することができ、多くのロボットアームウエハーローダーに対応することができます。また、H112は250 mm × 250 mmの透過光エリアを持つ透過光用途に使用することができます。 • 主要メーカーのマイクロスコープに対応 • 1 μm以上の繰り返し精度 • オプションの100 nmリニアスケールにより、最高レベルの分解能を実現 • ...
Prior Scientific
ストローク: 90 mm
SF Technology Co. Ltd.
ストローク: 300 mm
速度: 50 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm
... 高負荷、長時間の移動 KT470 DCモータ搭載XYステージは、計測や表面検査に使用されています。クロスローラーを使用することにより、真直度や平面度に関して低い振れを実現することができます。これにより、平均以上の繰返し精度を実現し、良好な補正の基礎となります。これにより、測定用途において非常に高い精度を実現することができます。 - 経済的なドライブで最大230 Nの荷重を位置決め - 最大100 mm/sの高速回転 - ランダム誤差を最小化 - 摩擦抵抗が少なく、非常に高い信頼性 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH