パラレル キネマティクス付ナノ位置決めステージ P-616 NanoCube®

XYZ軸圧電3軸

全空間方向で最高の剛性を実現するパラレル・キネマティック・デザイン 100gまでの荷重でも高い共振周波数により、非常にダイナミックな動きを実現 革新的な製品設計により、単一の取り付けプラットフォームでフレキシブルに使用可能。 IDチップ機能を搭載した市場で唯一のナノポジショナー 市場最小・最軽量のナノキューブ®、移動範囲100 µm 応用分野 ファイバーの位置決めとアライメント 走査型顕微鏡 2光子重合 ナノテクノロジーおよびナノ製造 フォトニクス／集積光学 マイクロマニピュレーション サンプルの位置決め PICMA®ピエゾアクチュエーターによる優れた寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 自動構成と迅速な部品交換 メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。