大口径でハイダイナミクスを実現
- パラレル・キネマティクスによる高速応答と高い多軸精度
- ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシステム
- PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命
- 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー
- 静電容量式センサーによる最高の直線性
- 計測技術
- 干渉計
- フォトニクス/集積光学系
- リソグラフィー
- ナノポジショニング
- 走査型顕微鏡
- サンプルアライメント
- マイクロマシニング
静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。
自動構成と高速部品交換
メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。
PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命
特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。
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