傾斜ポジショニングステージ

ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm

... 大口径でハイダイナミクスを実現 - パラレル・キネマティクスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニクス/集積光学系 - リソグラフィー - ナノポジショニング - 走査型顕微鏡 - サンプルアライメント - マイクロマシニング 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 自動構成と高速部品交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 ...

ストローク: 76, 44.5 mm

... 高荷重ラボジャッキは、3つの直交ヒンジを採用した革新的なデザインで、高さが増すにつれて安定したボックス型になるよう設計されています。 -クリープのない高負荷容量のラボジャック -独自の直交ヒンジにより、ぐらつき、傾き、ねじれを最小限に抑えます。 -3-mradの平行度 -非常にスムーズなジャッキ調整 -1/4-20およびM6ねじ込み式取り付け穴 従来のシザーズジャッキやデュアルパンタグラフジャッキは、交差する部材の間隔を狭めて持ち上げるため、高所での安定性が本質的に劣ります。これに対してニューポートは、直交する3つのヒンジが直線的にボックスを形成し、高さが増すほど安定する画期的な設計を採用しました。高さ調節は、サイドのヒンジのピボットピンをつなぐ頑丈なドライブスクリューで行います。エンドヒンジは、傾きや揺れを防ぎ、垂直方向の動きだけを確保します。 281は、調整ノブを48回転させることで、上下方向に3インチ調整することができます。モデル271は感度が低く、調整範囲も小さくなっています。 メートルねじとインペリアルねじを含む 271と281のラボジャッキは、英米式とメートル式の両方に対応しています。トッププレートには1/4-20のタップ穴が1インチ間隔で、ボトムプレートにはM6穴が25mm間隔で並んでいます。トッププレートとボトムプレートの両方には、光学テーブルにラボジャックを取り付けるためのクリアランススロットが4つあります。 ...

... -細径スピンドル、クランプ装置付き -測定・移動ステージまたは光学テーブルへの設置 特徴 -コンパクト設計 -3次元調整：傾斜2軸、回転1軸 -光軸下に調整ネジ -細ネジスピンドル -クランプ装置付き -変形しにくいアルミニウム -無反射ブラックアルマイト 取り付け方法 -ベースプレート付き測定・移動ステージ -取付プレートMP 120M付き光学テーブル上 プリズムステージPR 60は、テーブル高さが非常に低くなっています。角型ベースプレートは、測定ステージや移動ステージに取り付けることができます。 光学テーブルに取り付けるには、ベースプレートを取り外し、プリズムステージを取付プレートMP ...

速度: 200 mm/s

... A-523は、ダイレクトドライブを搭載したエアベアリングタイプのZチップ/チルトステージです。パラレル・キネマティック多軸システムとして設計されたこのプラットフォームは、Zおよびチップ/チルトの動作に使用することができます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームとして、最高の性能、品質、寿命を提供します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化と負荷がかかった状態でのZステージの設定とケーブル配線を実施します。すぐに使える位置決めシステムを完成させることができます。 アクセサリーとオプション エアフィルターセット 真空クランプ機構内蔵 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 4.88nm または 1nm、速度 500mm/s インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ 最高の精度と性能を提供するアルミナセラミック製もありますが、価格は高くなります。 フィルターおよび空気準備キット 追加軸 マシンベース 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム チップ/チルトプラットフォームやピエゾドライブ付き6軸ポジショナーなどの追加ポジショナーに適したマウント 位置決めシステムは、半導体やフラットパネル・ディスプレイ製造だけでなく、計測、フォトニクス、精密スキャニングなど、多くの高精度アプリケーションに最適です。 長寿命、クリーンルーム対応のドラッグチェーン E-ABT-XY-360X360は、高品質で長寿命のリボンケーブルと空気圧ホースを採用しています。広範な研究開発の結果、最適化されたケーブルマネジメントシステムにより、数百万回のメンテナンスフリーを実現しました。テフロンコーティングにより、パーティクルの発生を低減 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に理想的です。 ...

... 詳細： 超高性能で頑丈な回転とゴニオメーターシステム 1. 主な特徴 -両方の2 軸で ± 5° 調整範囲 -高負荷容量のためのステンレススチール構造、最大 200kg -両方の2 軸のエンコーダは9アーク秒（9インチ）の高解像度を保証します -XYステージ は必要に応じて簡単にセットアップできます頑丈で超性能回転、 ゴニオメータシステムは、2つの操作軸、すなわちチルト（ゴニオメータ）ステージと回転ステージにおける高精度運動のためのアイデアです。 これは、ダイヤモンドマルチマイクロワイヤーソー（DMMWS）とダイヤモンド切断機で広く使用されています。 ...

ストローク: 850, 500 mm
速度: 1,500, 500 mm/s
繰返し精度: 40, 20 nm

... インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。 内蔵機能 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。 斬新なドラッグチェーンコンセプトにより、エネルギーチェーンから発生する外乱力を最小化。 ...

... 大きな効果を発揮する小さなレバー シートの位置は、快適さだけでなく、安全性においても重要です 正しく着座することで、緊急時に安全かつ迅速に対応することができます。事故が発生しエアバッグが開いた後、調整されたシートの位置が理想的な保護に役立ちます。弊社はマニュアルシートリフターを製造しており、その品質の高さで知られております。 弊社の製造品目としては、マニュアルシートリフター、クッションチルトアジャスター、クッション長さアジャスター、シート前後移動用のボールガイドがあります。 シートの高さを個別に調整できるため、最適な使用が可能です 弊社の第2世代、及び、第3世代のシートリフターは、洗練された部品であり、お客様のご要望に合わせて取付できます。さらに、シートの長さを調整するためのリニアガイドレールも製造しています。 数多くの自動車メーカーが、弊社の製品が持つ柔軟性と品質を高く評価しております。 同時に、スプロケット、ブラケット、調節範囲、アンカーフィッティング等の個別設計により、弊社のシートリフターをお客様のシートに統合させる設計が可能です。弊社のシートリフターは、軽量化と高い保持トルクを兼ね備えております。 Oシートリフターに関する長年の研究を活かした設計は、業界内で高い評価を得ております。 この研究の成果として、多くの特許を保持しており、例えば、すべり（クリーピング）を防止するロック機構やワンウェイベアリングに関するソリューションがあります。 弊社が持つ革新性と創造性を活かし、最適化された既存部品やカスタマイズ品でお客様に貢献します。 社内のサンドボックス環境での試験は、開発の初期段階においても使用可能です。ご関心御座いましたら、ぜひご連絡下さい。 ...

ストローク: 0 mm - 0 mm

... - 単軸 - ミラーポジションシステム - 分離型エレクトロニクス不要 -小型ピエゾ式スマートステージ シンプルで高精度なポイントツーポイント位置決め用コントローラ。 直径わずか12mmのこのシステムは、限られたスペースでの精密なポイントツーポイントビームステアリングに最適です。 ...