リニアナノ ポジショナー / 圧電型 / 1軸
P-753 LISA series

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リニアナノ ポジショナー リニアナノ ポジショナー - P-753 LISA series
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特徴

  • タイプ:

    圧電型

  • 方向:

    リニア

  • 軸の数:

    1軸

  • 最大可搬質量 :

    2 kg, 10 kg (4.409 lb)

詳細

ガイド付きステージとアクチュエータを同時
に走行範囲 38 µm
分解能 0.1 nm
非磁性バージョン利用可能
ダイレクトドライブによる特に高速応答挙動
容量性センサによる最高
の直線性アプリケーション分野
スキャン顕微鏡
測定技術
テスト 手順と品質保証
フォトニクス
ファイバーの位置決め容量性
センサによるサブナノメータの分解能静電
容量式センサは接触せずにサブナノメータの分解能で測定します。 動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz 範囲の帯域幅を保証します。


直接位置測定による最高精度モーションは、ドライブやガイド要素からの影響を受けずに、モーションプラットフォームで直接測定されます。 これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答制御が可能になります。 PICMA® ダイレクトドライブ@@

によるPICMA® ダイレクトドライブによる
ピエゾナノポジショナによる剛性とダイナミクスの向上には、機械的な変換はありません。 これにより、高速な応答速度と、ピエゾ駆動範囲で可能な限り高い剛性とダイナミクスを実現できます。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)