リニアナノ位置決めステージ P-753 LISA series

圧電顕微鏡マイクロメーター

ステージとアクチュエータを同時にガイド 分解能0.1nm ダイレクトドライブによる高速応答動作 静電容量式センサーによる最高の直線性 応用分野 走査型顕微鏡 測定技術 試験手順と品質保証 フォトニクス ファイバー位置決め PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 直接位置測定による最高精度 駆動部やガイドエレメントの影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接計測されます。これにより、最適な繰り返し精度、卓越した安定性、剛性、高速応答制御が可能になります。 PICMA®ダイレクトドライブによる高い剛性とダイナミクス PICMA®ダイレクトドライブを搭載したピエゾナノポジショナーには、機械的な移動がありません。これにより、高速応答が可能になり、ピエゾドライブ製品群の中で最高の剛性とダイナミクスが得られます。