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ストローク: 500 mm
繰返し精度: 0.05 µm
... 製品
Piezo Zステージ
品番
00-55-550-0810
主な特長
- コントローラ EBD-060310 同梱
- ストローク：500 µm
- 解像度：5 nm / 31 nm
- 繰返し精度：50 nm
- Märzhäuser SCAN IM シリーズのほとんどのスキャニングステージと互換
- PiezoコントローラをTANGOコントローラのAUX
ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空：全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑：液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式を採用 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s
... - 真空：HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油：最大10-8 / ドライ：最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - アパーチャー: 80 x 80 mm オプションで設定可能 - 測定システム付きまたは測定システムなし - オプションでリードスクリュー駆動または潤滑式ボールスクリュー駆動による高速化も可能 - 回転アプリケーション用に回転テーブル（例：DT155）との組み合わせが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH