ナノ位置決めステージ

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回転ナノ位置決めステージ
回転ナノ位置決めステージ
FBR Series

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。

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Johnson Electric/ジョンソン エレクトリック
ゴニオメーターナノ位置決めステージ
ゴニオメーターナノ位置決めステージ
FBG Series

積載量: 2 kg

ナノモーションFBGシリーズのゴニオメータステージは、ステージ上のピボット軸に沿って傾斜可動させます。ステージ設計は、2軸をまとめて共通ピボット軸に沿って傾斜させることを可能にしています。 ゴニオメータステージは、曲面上のテープ目盛りの他に、ダイレクト光学エンコーダを採用し、最高1アーク秒の分解能を実現しています。

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Johnson Electric/ジョンソン エレクトリック
圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF3232-x.60

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×12mmと非常にコンパクトです。 ...

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SmarAct GmbH
圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF3232-z.60

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-z.60は、Z方向に60μmを超えるスキャン範囲を実現しています。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×15mmと非常にコンパクトです。 ...

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SmarAct GmbH
圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
PLF5252-x.200

... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF5252-x.200は、X方向で200μm以上のスキャン範囲を実現しています。また、重量は90gと非常に軽く、52×52×15mmと非常にコンパクトです。 ...

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SmarAct GmbH
圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
OP800

ストローク: 800 µm
速度: 17 m/s
繰返し精度: 6 nm

... OP800ピエゾ対物レンズスキャナーは、対物レンズポジショナーの中で最速のステップタイムとセトリングタイムを提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場をリードする位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズの大きさ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定が可能です。ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
OP400

ストローク: 400 mm

... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
SP series

ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm

... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NT...V

IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。 テーブルの案内部には、長期メンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイLの採用により、メンテナンス工数の削減に貢献します。可動子には、高性能ネオジウム磁石を採用により、極めて小形でありながら最大推力36Nを発揮するので、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイのみなので高いクリーン度を実現します。 ...

真空対応ナノ位置決めステージ
真空対応ナノ位置決めステージ
LA97 series

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空:全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑:液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
KLT300 series

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空:HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油:最大10-8 / ドライ:最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - アパーチャー: 80 x 80 mm オプションで設定可能 - 測定システム付きまたは測定システムなし - オプションでリードスクリュー駆動または潤滑式ボールスクリュー駆動による高速化も可能 - 回転アプリケーション用に回転テーブル(例:DT155)との組み合わせが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
MT53-PM

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... クロスローラベアリングとピエゾモータを採用した、ナノメートル領域でのステップ動作が可能なマイクロステージです。 高分解能マイクロステージ Steinmeyer Mechatronik製品群の中で最小のステージは、非常に高い解像度を提供します。その小型化設計により、スペース要件が制限され、高水準が要求されるアプリケーションに最適です。 ピエゾモーターによる最適なステップサイズ MT53は、クロスローラベアリングとピエゾモータを搭載しており、ナノメートル領域でのステップを可能にします。真空および非磁性体バージョンでは、このマイクロステージは厳しい環境での使用に完全に適しています。 マイクロマシニングとマイクロアセンブリに理想的なステージ MT53は、要求の厳しいマイクロマシニングやマイクロアセンブリの用途に使用することができます。また、研究開発用途や半導体産業にも理想的な配置が可能です。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
ANT95L series

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
PXY Series

ストローク: max 16.0 µm

... Piezosystem Jena のPXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 このツールは、光学系、ファイバーの位置決め、レーザー技術、2Dスキャンモーション、自動および電波処理システムなどの特定のアプリケーションに最適です。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
VZMP series

ストローク: 5 mm - 80 mm

... ガイドテーブルシリーズ ミニボアø4.5~32mm。コンパクトな高剛性リニアガイドを搭載したテーブルタイプのスタンダードセレクションです。豊富なオプションにより、自由な機械設計が可能です。油圧式ショックアブソーバーやバンパーによるストローク調整が可能(内径10mmから)。 ...

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
Model ZSA-1000C

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...

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