3軸ナノ位置決めステージ

ストローク: 100 µm
積載量: 21 g

... 全空間方向で最高の剛性を実現するパラレル・キネマティック・デザイン 100gまでの荷重でも高い共振周波数により、非常にダイナミックな動きを実現 革新的な製品設計により、単一の取り付けプラットフォームでフレキシブルに使用可能。 IDチップ機能を搭載した市場で唯一のナノポジショナー 市場最小・最軽量のナノキューブ®、移動範囲100 µm 応用分野 ファイバーの位置決めとアライメント 走査型顕微鏡 2光子重合 ナノテクノロジーおよびナノ製造 フォトニクス／集積光学 マイクロマニピュレーション サンプルの位置決め PICMA®ピエゾアクチュエーターによる優れた寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 自動構成と迅速な部品交換 メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。 ...

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、または3軸の長い移動量とサブナノメートルの分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を特長とし、高周波エラー補正、トラッキング、高速ステッピング、連続スキャンなどの動的プロセスで使用できます。 -サブナノメーターのピエゾ式位置決め分解能 -X、XY、またはXYZでの動作 -最大400 µmのピエゾ移動範囲 -クローズドループ動作のための内蔵ストレインゲージ（オプション -高ダイナミックアプリケーション用の高い共振周波数 -真空バージョンあり 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、制御電子機器のノイズによってのみ制限される分解能で超微細な調整が可能です。 大きなピエゾ移動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧ピエゾトランスデューサスタックを特徴とし、高デューティサイクルの操作に対応します。洗練されたFEA最適化された平行四辺形ソリッドステートフレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...