閉ループナノ位置決めステージ

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XYナノ位置決めステージ / XYZ / 圧電 / 小型
XYナノ位置決めステージ
P-363 PicoCube series

ストローク: 3, 2.7, 2.5 µm

... -AFM / SPM 用超高性能クローズドループスキャナ -バイオ/ナノテクノロジー用のコンパクト操作ツール -共振周波数 9.8kHz -最高の精度を実現する静電容量センサ -ガイド誤差の自動補正のための並列モーション測定 -分解能 50ピコメートル -旅行 範囲 5 µm × 5 µm × 5 µm -真空互換バージョン静電容量式 センサを使用したサブナノメータ分解能静電 容量式センサは、接触せずにサブナノメータの分解能で測定します。 動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 1軸 / 小型
リニアナノ位置決めステージ
QNP-L series

ストローク: 100 µm - 600 µm

... 設計の特徴 •移動範囲は100 µm~600 µmです •長いデバイス寿命 •高精度、摩擦のないフレキシブルガイダンスシステム •ダイレクトメトロジーの容量式センサオプションにより、0.007% までの優れた位置決め分解能と直線性 •他のQNPシリーズピエゾとの取付互換性ナノポジショナー •オープンループおよび真空バージョン AerotechのQNP™ シリーズのピエゾナノポジショニングステージは、コンパクトで高剛性パッケージでサブナノメートルレベルの性能を提供します。 ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 1軸 / 精密
リニアナノ位置決めステージ
QFOCUS QF46Z series

... 設計の特徴 •100μmから300μmまでの移動が可能 •高い剛性とダイナミクスにより、優れたステップアンドセトリング性能とスキャン性能を実現 •高精度、摩擦のない屈曲指導 •長いデバイス寿命 •ダイレクトメトロジーの容量式センサによる優れた位置決め分解能と直線性オプション •さまざまなネジ式アダプタまたは取り付け穴による取り付けの柔軟性 •直径29mmまでのクリアな開口部 AerotechのQFOCUS® QF46Zピエゾナノポジショニングステージシリーズにより、顕微鏡対物および光学系をナノメートルレベルで高速で位置決めすることができますパフォーマンス。 ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 1軸 / 閉ループ
リニアナノ位置決めステージ
COR-PS

... Phi Driveは、小型で非常に小さな変位が必要とされる産業、研究、計測の市場分野向けに、ナノメートル位置決め圧電ステージを開発しました。 ナノメートルまたはサブナノメートルの変位を達成することは容易ではなく、このシステムは外部ノイズに非常に敏感であることが多いです。COR-PS製品群のステージは、以下の特徴を備えているため、ノイズの発生源に強くなっています。 慣性力の高いスチールとエルガルのハイブリッドレイアウトにより、機械的な振動にも安定感を与えます。 ノイズを最小限に抑え、外乱に対する堅牢性を高めるために特別に設計されたエレクトロニクス すべてのCOR-PSステージは、圧電アクチュエータと変位増幅型たわみ機構を採用しています。 ナノメートルの分解能。15~0.18 ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 精密 / 閉ループ
リニアナノ位置決めステージ
OP400

ストローク: 400 mm

... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

リニアナノ位置決めステージ / 圧電 / 3軸 / 小型
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.1, 0.2, 0.4 mm

... NPX Piezo Stack リニアステージは、コンパクトなパッケージで、1 軸、2 軸、または3 軸で長いトラベルおよびサブナノメーターの分解能モーションを提供します。 これらのデバイスは、高速応答と高速セトリング性能を特長とし、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステッピング、または連続スキャンなどの動的プロセスで使用できます。 サブナノメートル圧電位置決め分解能 X、XY、またはXYZでのモーション 最大 400 µmの圧電移動範囲 (オプション)クローズドループ動作用の統合型ひずみゲージ 高ダイナミックアプリケーション向け高共振周波数 バキュームバージョン ...