リニアナノ位置決めステージ SOM-MS-180150

2軸コンパクト閉ループ

SOM-180150は、X軸方向に123mm、Y軸方向に103mmと、SmarAct社の顕微鏡ステージの中で最大の移動範囲を実現しています。SOM-180150は、コンパクトなSLCリニアステージをベースに、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを実現しています。ステージの長さは286mm、幅は216mm、高さは30mmです。ステージの重量は2500gです。 標準的なインサート用のアダプターとブレッドボード互換のベースプレートにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース [N] - ≥ 5.5 マックス。通常時の力 [N] - 10 寸法 [mm] - 286 x 216 x 30 重量 [g] - 2500 オープンループ オープンループ分解能 [nm] - <1 オプション 真空オプション - HV (1E-6mbar); UHV / UHVT (1E-11mbar)