多軸ナノ配置システム SMARPOD 225.75

6脚リニア回転式

SMARPOD 225.75のベースプレート直径は225 mmで、XおよびY方向に42 mmの移動が可能です。 SMARPOD 225.75は、最大5 Nの可搬重量を扱うことができます。SmarAct SMARPODの中でも大型の部類に入り、移動範囲はX、Y方向に42 mm、Z方向に24 mmです。オプションとして、ベースプレートには、SMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを配置するための取り付けポストを装備できます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル [ - 24 (Θx); 27 (Θy); 41 (Θz) 最大法線力 [N] - 5 最大水平力水平力 [N] - 2.5 寸法 ベースプレート[mm] - Ø 225 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 75 重量 [g] - 2060 クローズドループ センサータイプ - SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μ - 3 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 50 オプション 真空オプション - HV（1E-6 mbar）、UHV（1E-11 mbar） 非磁性オプション - あり（-NM）