多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLC-17

6脚リニア回転式

この中型SMARPODはSLC-17ステージをベースにした平行オリエンテーションで、X方向に50mmのトラベルを提供します。 SMARPOD P-SLC-17は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-17はX方向に50mmと非常に大きな移動量を提供します。 回転トラベルの値は、トッププレートの表面にピボットポイントがある場合の値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 仕様 トラベル [ - 25 (Θx); 22 (Θy); 16 (Θz) 最大荷重法線力 [N] - 5 最大水平力水平力 [N] - 2.5 寸法 [mm] - 110 x 70 寸法 ベースプレート [mm] - 110 x 70 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 67.4 重量 [g] - 680 クローズドループ センサータイプ - SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μ - 3 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - ± 50 オプション 真空オプション - HV（1E-6 mbar）、UHV（1E-11 mbar） 非磁性オプション - あり（-NM）