精密レンズスロット SMS-20-0

SMS-20-0は、モーター駆動のシングルスリットで構成されています。内部構造により、20mmの作業範囲内でスリットの端とスリットの開口部を正確に位置決めすることができます。 2枚のブレードは個別に可動し、エッジは互いに平行に配置され、水平方向のスリット幅を0～20mmの間で設定でき、20mm×20mmのウィンドウ内にスリット位置を定義することができます。位置センサーにより、各ブレードをクローズドループで位置決めし、20mm×20mmのウィンドウ内の開口部のサイズと位置を正確に定義することができます。高真空や超高真空の環境下で使用するための特別なバージョンもご用意しています。また、カスタマイズも可能です。お客様のご要望をお聞かせください。 メカニカル 寸法[mm] - 75 x 75 x 20 オープンループ 速度[mm/s] - >20 分解能 [nm] - < 1 クローズドループ クローズドループ分解能 MCS2 [nm] - 1 (S) 4 (L) クローズドループ繰り返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - ±30 (S) ,±60 (L) クローズドループ分解能 (H)CU [nm] - 50 (L) 閉ループ繰返し精度、フルストローク (H)CU [nm] - ± 1000 (L) オプション 材質オプション -スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、黒アルマイト（-BK) 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 非磁性体オプション - 有 (-NM)