リニアナノ位置決めステージ SOM-MS-12090

2軸閉ループコンパクト

SOM-12090は、長さ226mm、幅176mm、高さ30mmと、スマーアクトで2番目に大きな顕微鏡ステージです。ステージの移動範囲は、X軸83mm、Y軸63mmです。このステージは、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを提供する、スマーアクトのコンパクトなSLCリニアステージをベースにしています。 ブレッドボード対応のベースプレートと標準インサート用アダプターにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズ性も高い。 メカニカル ブロッキングフォース [N] - ≥ 5.5 最大通常時の力 [N] - 15 寸法 [mm] - 226 x 176 x 30 重量 [g] - 1500 オープンループ オープンループの分解能 [nm] - <1 オプション 材質オプション - アルミニウムベース（標準）、ブラックアルマイト（-BK 真空オプション - HV (1E-6mbar); UHV / UHVT (1E-11mbar)