リニアナノ位置決めステージ SOM-MS-180150M

電磁駆動2軸閉ループ

SOM-MS-180150Mは電磁駆動方式の顕微鏡ステージです。 SOM-MS-180150MはX軸121mm，Y軸101mmと十分な可動範囲を持ち，マルチウェルプレート，シャーレ，スライドガラスなどのサンプルホルダに対応します．SOM-MS-180150Mは、当社のMLSダイレクトドライブの技術をベースに、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ繰返し精度を実現しています。ステージの長さは300mm、幅は230mm、高さは35mmです。コンパクトなサイズにもかかわらず、倒立顕微鏡用に設計されています。