多軸ナノ配置システム SMARPOD 110.45
6脚パラレル キネマティクス付高真空

多軸ナノ配置システム
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特徴

軸の数
多軸
構造
6脚
その他の特徴
パラレル キネマティクス付, 高真空
繰返し精度

50 nm

ストローク

11 mm, 20 mm
(0.43 in, 0.79 in)

詳細

中型の「SMARPOD 110.45」は、6DoFで5Nまでのペイロードの位置決めが可能です。 SMARPOD 110.45は、中型のヘキサポッド型位置決めシステムです。移動範囲が広いため、汎用性が高いのが特徴です。オプションとして、ベースプレートにツール、コンポーネント、センサーなどを取り付けることができます。これにより、位置決めシステムは、精密なアライメントを必要とするマイクロアセンブリなどのアプリケーションのコアデバイスになります。 110.45は、他のSmarAct SMARPODと同様に、高真空および超高真空バージョンや、完全な非磁性材料で作られたものもあります。 メカニカル 移動量 [mm] - 20 (X); 20 (Y); 10 (Z) トラベル [ - 21 (Θx); 24 (Θy); 38 (Θz) 最大荷重法線力 [N] - 5 最大値水平方向の力 [N] - 2.5 寸法 [mm] - Ø 110 プラットフォームの地面からの高さ [mm] - 45 重量 [g] - 400 クローズド・ループ センサータイプ - S; SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μrad] - 1 クローズドループ繰返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - < ± 200 閉ループ繰返し精度、1 mm トラベル MCS2 [nm] - < ± 10 クローズドループ・リピータビリティ、フルストローク MCS2 [μrad] - < ± 15 オプション 真空オプション - HV (1E-6mbar); UHV / UHVT (1E-11mbar) 非磁性オプション - はい (-NM)

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ
Catalog 22
Catalog 22
182 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。