多軸ナノ配置システム SMARPOD P-CLL-CLS

6脚リニア回転式

大型のSMARPODは、X方向に330mmという非常に大きな移動範囲を提供するCLLシリーズの3つのキャリッジを使用しています。 SMARPOD P-CLL-CLSは、Y方向の移動にCLSポジショナを使用し、X方向にはCLLステージを使用します。この異なるリニアステージの組み合わせにより、P-CLL-CLSはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向の移動範囲を最大1200mmまで拡大することができます。SMARPOD P-CLL-CLSには交換可能なドライブユニット（EDU）が装備されており、位置決めシステムを完全に分解することなく、ピエゾドライブを簡単かつ迅速に交換することができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 仕様 トラベル [ - 32 (Θx); 34 (Θy); 30 (Θz) 最大法線力 [N] - 4 最大水平力水平力 [N] - 2 寸法 ベースプレート [mm] - 554 x 45 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 72 重量 [g] - 2950 クローズドループ センサータイプ - SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μ - 3 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)