多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLL

6脚

SMARPOD P-SLLは、SLLシリーズのキャリッジを3台使用し、長い移動距離を実現しています。 SMARPOD P-SLLは、Y方向の移動にSLCステージ、X方向の移動にSLLステージを採用しています。この異なるリニアステージの組み合わせにより、P-SLLはY方向のフットプリントを小さく保ちながら、X方向で最大1200mmという非常に大きな移動範囲を実現しています。また、高真空対応バージョンも用意しています。 メカニカル 移動量 [mm] - 20 ...20 ... 1200 (x); 45 ... 119 (y); ≤ 16 (z) 移動量 [ - ≦ 42 (Θx); ≦ 33 (Θy); ≦ 42 (Θz) 最大法線力 [N] - 10 最大水平力 [N] - 5 寸法[mm] -＞ 250 x 93 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 67.5 重量 [g] - 300 ...2000 クローズドループ センサータイプ - S; SC 最小刻み幅 [nm] - 1 最小増加量[µrad] - 1 クローズドループ繰返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - < ± 200 閉ループ繰返し精度、1 mmトラベル MCS2 [nm] - < ± 10 閉ループ繰返し精度、フルストローク MCS2 [µrad] - < ± 15 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar)