精密レンズスロット SMS-20-20

SMS-20-20は、2つの直交する方向のシングルスリットで構成されています。モーター駆動により、開口部のサイズと位置を正確に設定することができます。 4枚の独立した可動式ブレードが、互いに長方形の向きに2組平行に並んでいます。このセットアップにより、開口部のサイズを幅と高さで独立して定義することができ、一辺の長さは0～20mmです。位置センサーにより、各ブレードを閉ループで位置決めし、20×20mmの筐体の窓の中で開口部のサイズと位置を正確に定義することができます。高真空や超高真空での使用に対応した特殊なバージョンもご用意しています。また、カスタマイズも可能です。お客様のご要望をお聞かせください。 メカニカル 寸法[mm] - 75 x 75 x 20 オープンループ 速度[mm/s] -＞ 20 分解能 [nm] - < 1 クローズドループ クローズドループ分解能 MCS2 [nm] - 1 (S) 4 (L) クローズドループ繰り返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - ±30 (S) ,±60 (L) クローズドループ分解能 (H)CU [nm] - 50 (L) 閉ループ繰返し精度、フルストローク (H)CU [nm] - ± 1000 (L) オプション 材質オプション -スチールベース（-ST）、チタンベース（-TI）、黒アルマイト（-BK) 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 非磁性体オプション - 有 (-NM)