リニアナノ位置決めステージ SOM-8080
2軸閉ループコンパクト

リニアナノ位置決めステージ
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特徴

方向
リニア
軸の数
2軸
その他の特徴
閉ループ, コンパクト, 高精度, -翻訳中-, 真空対応, 顕微鏡, 開ループ
ストローク

51 mm
(2.008 in)

速度

8 mm/s

繰返し精度

80 nm, 160 nm, 1,000 nm

詳細

SOM-8080は、スマーアクトで最もコンパクトな顕微鏡ステージで、X軸とY軸の移動範囲は51mmです。ステージの寸法は、長さと幅が138mm、高さが23mmとなっています。すべてのスマーアクト顕微鏡ステージと同様に、SOM-8080はスマーアクトの高精度SLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高の再現性とナノメートルの分解能を実現しています。 顕微鏡ステージのベースプレートは、ブレイブボードに対応しています。標準的なインサート用のアダプターは、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル 移動量 [mm] - 51 (X); 51 (Y) ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5/ ≥ 5.5 最大ノーマルフォース [N] - 20 寸法 [mm] - 138 x 138 x 23 オープンループ オープンループの分解能 [nm] - <1

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