6 軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLC-246脚パラレル キネマティクス付小型

6 軸ナノ配置システム
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参考価格 

特徴

軸の数
6 軸
構造
6脚
その他の特徴
パラレル キネマティクス付, 小型

詳細

SMARPOD P-SLC-24 中型SMARPOD P-SLC-24は、洗練されたパラレルキネマティック設計に基づいており、最大10Nのペイロードを処理することができます。 スマラクトのSMARPOD P-SLC-24は、SLC-24リニアステージを直交方向で利用し、大きな移動範囲を可能にし、比較的小さいフットプリント。 P-SLC-24は、高いペイロードと長い移動範囲を処理する能力により、最も汎用性の高い多軸測位システムの1つです。 SLC-24シリーズステージをベースにしており、高真空および超高 真空互換バージョンとしても入手可能です。 アプリケーションで必要な場合は、完全に非磁性材料で作ることができます。 トラベル [ミリメートル] 79... 119 (X); 45... 119 (Y); ≤ 12 (Z) トラベル [≤ 31 (x); ≤ 27 (y); ≤ 42 (z) 最大 垂直荷重 [N] 10 最大 水平荷重 [N] 5 次元 [mm] 150 x 100 地上上のプラットフォームの高さ [mm] 87 重量 [g] 300... 2000 閉ループ センサタイプS; SC 最小増分 [nm] 1 最小増分 [μrad] 1 閉ループ繰り返し性 [nm] < ± 200 (全移動範囲); < ± 15 (1mm 直線移動距離) クローズド-ループ繰り返し性 [μrad] < ± 10 オプション真空オプションHV (1E-6 mbar); UHV/UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプションあり (-NM)

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カタログ

PRODUCT CATALOGUE
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240 ページ
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。