多軸ナノ配置システム SMARPOD P-SLC-24

6脚リニア横型

大型のSMARPODは、X方向に102mmの大きな移動量を提供する平行配向のSLC-24ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができます。ほぼ同じサイズのP-SLC-24は、X方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 仕様 トラベル [ - 33 (Θx); 33 (Θy); 36 (Θz) 最大荷重法線力 [N] - 5 最大水平力水平力 [N] - 2.5 寸法 ベースプレート [mm] - 195 x 91 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 81 重量 [g] - 1890 クローズドループ センサータイプ - SC 最小インクリメント [nm] - 1 最小インクリメント [μ - 3 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) 非磁性オプション - あり（-NM）