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コンパクトナノ配置システム
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繰返し精度: 50 nm
ストローク: 62, 102, 17 mm
... 中型のSMARPOD P-SLC-24は、洗練されたパラレル・キネマティック設計に基づき、最大10Nの可搬重量を扱うことができます。 SMARPOD P-SLC-24は、SLC-24リニアステージを直交方向に使用し、大きな移動範囲を確保しながら、比較的小さな設置面積を維持しています。P-SLC-24は、高可搬質量に対応する能力と長い移動範囲により、最も汎用性の高い多軸位置決めシステムの1つです。SLC-24シリーズのステージをベースにしているため、高さおよび超高さにも対応可能です。 真空対応バージョンです。また、用途に応じて完全非磁性材料で製作することも可能です。 メカニカル 移動量 ...
... ナノメートル精度で物体と構造を位置決め、操作、加工、測定 - 世界で最も精密なナノ位置決めおよびナノ計測装置 - 測定および位置決め範囲 25 x 25 x 5 mm - 分解能0.1 nm - 最高精度の3次元位置決め測定システム - レーザーフォーカスセンサー、原子間力顕微鏡、白色光センサー、3Dマイクロスキャナーなどのプロービングシステム - オープンデバイスアーキテクチャーにより、カスタマイズされたセンサーの適用が可能 - NMM-1はPCソフトウェアで制御。ユーザーAPIが利用可能です。 三次元座標測定用のナノ位置決めおよびナノ測定機は、25 ...
... AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲:表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御:3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - ...
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