6 軸配置システム TRIPOD 92-6DoF
三脚

6 軸配置システム
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特徴

軸の数
6 軸
構造
三脚

詳細

大きい方のTRIPODはCLS-92 Modular Systemと互換性があります。 チップチルトステージは、この位置決めシステムの中核となる部品です。3つのタレットの配置により、天板のロール・ピッチ運動はΘxが±13°、Θyが±15°、Z方向の直線移動は10mmの範囲で可能です。また、トッププレートにはSR-4011回転ステージを取り付けるためのスロットがあり、セットアップに第4の自由度を追加することができます。一方、底板はブレッドボードに直接取り付けるか、2つのCLS-92直線DeepLトランスレーションで構成されるXYプラットフォームを使用することができます。後者の場合、5次元位置決めシステム、またはSR-4011と合わせて6次元位置決めシステムを構築することができます。 メカニカル 移動量[mm] - 63 (X); 63 (Y); 10 (Z) 移動量 [ - 26 (Θx); 28 (Θy); 無制限 (Θz) 最大法線力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5 寸法[mm] - 142 x 142 x 94 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 94 重量 [g] - ~ 1850 クローズドループ センサーの種類 - S 最小刻み幅 [nm] - 1 最小増加量[µrad] - 1 クローズドループ繰り返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - < ± 200 クローズドループ繰り返し精度、1 mmトラベル MCS2 [nm] - < ± 10 閉ループ繰返し精度、フルストローク MCS2 [µrad] - < ± 15 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar)

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。