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ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。
IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。 テーブルの案内部には、長期メンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイLの採用により、メンテナンス工数の削減に貢献します。可動子には、高性能ネオジウム磁石を採用により、極めて小形でありながら最大推力36Nを発揮するので、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイのみなので高いクリーン度を実現します。 ...
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×12mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF3232-z.60は、Z方向に60μmを超えるスキャン範囲を実現しています。また、重量は30gと非常に軽量で、32×32×15mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動のメカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度な位置決めタスクを実現することが可能です。 PLF5252-x.200は、X方向で200μm以上のスキャン範囲を実現しています。また、重量は90gと非常に軽く、52×52×15mmと非常にコンパクトです。 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 240, 120, 1,000 nm
... SOM-12090は、長さ226mm、幅176mm、高さ30mmと、スマーアクトで2番目に大きな顕微鏡ステージです。ステージの移動範囲は、X軸83mm、Y軸63mmです。このステージは、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを提供する、スマーアクトのコンパクトなSLCリニアステージをベースにしています。 ブレッドボード対応のベースプレートと標準インサート用アダプターにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズ性も高い。 メカニカル ブロッキングフォース ...
SmarAct GmbH
ストローク: 123, 103 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 180, 360, 1,000 nm
... SOM-180150は、X軸方向に123mm、Y軸方向に103mmと、SmarAct社の顕微鏡ステージの中で最大の移動範囲を実現しています。SOM-180150は、コンパクトなSLCリニアステージをベースに、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを実現しています。ステージの長さは286mm、幅は216mm、高さは30mmです。ステージの重量は2500gです。 標準的なインサート用のアダプターとブレッドボード互換のベースプレートにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...
SmarAct GmbH
ストローク: 51 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 80, 160, 1,000 nm
... SOM-8080は、スマーアクトで最もコンパクトな顕微鏡ステージで、X軸とY軸の移動範囲は51mmです。ステージの寸法は、長さと幅が138mm、高さが23mmとなっています。すべてのスマーアクト顕微鏡ステージと同様に、SOM-8080はスマーアクトの高精度SLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高の再現性とナノメートルの分解能を実現しています。 顕微鏡ステージのベースプレートは、ブレイブボードに対応しています。標準的なインサート用のアダプターは、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル 移動量 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm
... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...
積載量: 2, 1.5 kg
... ANT95Rダイレクトドライブ回転ステージは、前例のない位置決め内安定性と0.01秒以下のインクリメンタルモーション性能を提供し、2つの精度等級で提供されます。コンパクトなサイズで、他のモーション軸やシステムとの統合が容易です。 -0.01秒角の分解能 -0.005秒角の位置決め安定性 -優れた誤差モーション仕様 -多軸構成 -高い動的性能 -限定回転と無制限回転の両方に対応 多軸機能 ANT95Rシリーズは、AerotechのANTリニアステージ製品と互換性があり、簡単に統合できるように設計されています。これらのステージを組み合わせることで、ほとんどすべてのナノ製造または検査用途に精度、安定性、小型性能能力を提供します。 ...
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