精密ナノ位置決めステージ

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回転ナノ位置決めステージ
回転ナノ位置決めステージ
FBR Series

ナノモーションFBRシリーズのロ―タリステージは、高精度回転モーションの最小面積を実現しています。周囲の直径60mmのセラミックリングと高精度のクロスローラ回転ベアリングの組合せと、非接触光学エンコーダで構成されています。FBR60は、0.5アーク秒までの分解能のエンコーダ、そして異なった速度/トルクの要件に合わせて単一又はマルチモータの構成が可能です。

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-12090

ストローク: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 240, 120, 1,000 nm

... SOM-12090は、長さ226mm、幅176mm、高さ30mmと、スマーアクトで2番目に大きな顕微鏡ステージです。ステージの移動範囲は、X軸83mm、Y軸63mmです。このステージは、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを提供する、スマーアクトのコンパクトなSLCリニアステージをベースにしています。 ブレッドボード対応のベースプレートと標準インサート用アダプターにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズ性も高い。 メカニカル ブロッキングフォース ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-180150

ストローク: 123, 103 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 180, 360, 1,000 nm

... SOM-180150は、X軸方向に123mm、Y軸方向に103mmと、SmarAct社の顕微鏡ステージの中で最大の移動範囲を実現しています。SOM-180150は、コンパクトなSLCリニアステージをベースに、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを実現しています。ステージの長さは286mm、幅は216mm、高さは30mmです。ステージの重量は2500gです。 標準的なインサート用のアダプターとブレッドボード互換のベースプレートにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-8080

ストローク: 51 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 80, 160, 1,000 nm

... SOM-8080は、スマーアクトで最もコンパクトな顕微鏡ステージで、X軸とY軸の移動範囲は51mmです。ステージの寸法は、長さと幅が138mm、高さが23mmとなっています。すべてのスマーアクト顕微鏡ステージと同様に、SOM-8080はスマーアクトの高精度SLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高の再現性とナノメートルの分解能を実現しています。 顕微鏡ステージのベースプレートは、ブレイブボードに対応しています。標準的なインサート用のアダプターは、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル 移動量 ...

圧電ナノ位置決めステージ
圧電ナノ位置決めステージ
OP800

ストローク: 800 µm
速度: 17 m/s
繰返し精度: 6 nm

... OP800ピエゾ対物レンズスキャナーは、対物レンズポジショナーの中で最速のステップタイムとセトリングタイムを提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場をリードする位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズの大きさ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定が可能です。ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
OP400

ストローク: 400 mm

... NanoScan OP400ナノ位置決めピエゾ対物スキャナは、利用可能な任意の対物ポジショナで最速のステップとセトリット時間を提供します。 容量性帰還センサを組み込み、市場をリードする位置決め精度と分解能を備えています。 ほとんどの顕微鏡や対物レンズに対応するシステムは、異なる対物サイズ、重量、性能のニーズに合わせて最適化されたユーザー設定可能な設定を備えています。 ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

Z軸ナノ位置決めステージ
Z軸ナノ位置決めステージ
SP series

ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm

... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています。 ...

真空対応ナノ位置決めステージ
真空対応ナノ位置決めステージ
LA97 series

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空:全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑:液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
ANT95L series

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

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Aerotech/エアロテック
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
PXY Series

ストローク: max 16.0 µm

... Piezosystem Jena のPXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 このツールは、光学系、ファイバーの位置決め、レーザー技術、2Dスキャンモーション、自動および電波処理システムなどの特定のアプリケーションに最適です。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
VZMP series

ストローク: 5 mm - 80 mm

... ガイドテーブルシリーズ ミニボアø4.5~32mm。コンパクトな高剛性リニアガイドを搭載したテーブルタイプのスタンダードセレクションです。豊富なオプションにより、自由な機械設計が可能です。油圧式ショックアブソーバーやバンパーによるストローク調整が可能(内径10mmから)。 ...

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