閉ループポジショニングステージ

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縦型ポジショニングステージ / 傾斜 / 圧電 / 3軸
縦型ポジショニングステージ
P-518, P-528, P-558 series

ストローク: 50 mm - 240 mm

... Zおよびチップ/チルトステージは3軸/Zステージで1軸の クローズドループ垂直/チルト範囲は200µm/2mradまで(オープンループ240µm/2.4mradまで) 並列キネマティクスにより応答時間の短縮と多軸精度の向上 ゼロプレイ、高精度フレクチャーガイドシステム PICMA® による優れた寿命 ピエゾアクチュエータ クリアアパーチャ66mm × 66mm 静電容量式センサによる最高の直線性 PICMA® ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 PICMA® ...

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Physik Instrumente
ミラー傾斜ポジショニングステージ / 縦型 / 圧電 / 2軸
ミラー傾斜ポジショニングステージ
S-340 series

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Physik Instrumente
リニアポジショニングステージ / モーター式 / -翻訳中- / 統合玉循環リニア軸受
リニアポジショニングステージ
LS-180 series

ストローク: 155, 205, 305, 508 mm
速度: 0.075, 0.15 m/s

... 移動範囲は 155 mm ~ 508 mm (6 ~ 20インチ)、 最大速度 ~ 150 mm/s 負荷容量 ~ 1000 N 直接位置測定用リニアエンコーダ。 リファレンスクラスのリニアステージ 再循環ボールベアリングで、高い移動精度と荷重容量を実現します。 5 mmピッチの精密ボールねじ。 ストレスリリーフされたアルミニウムベースにより、最高の安定性を実現。 非接触誘導性リミットスイッチ。 ドライブタイプ クローズドループDCサーボモータモータシャフトにロータリーエンコーダ付き 2 ...

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Physik Instrumente
リニアポジショニングステージ / リニア サーボ モーター / 1軸 / 精密
リニアポジショニングステージ
ABL1000 series

ストローク: 25, 50, 100, 150 mm
速度: 0.3 m/s

... 設計の特徴 •高性能アライメントとアセンブリ用に設計されています •0.5nmの閉ループ分解能 •完全にプリロードされた空気ベアリング •低ノイズリニアアンプ •完全な非接触設計の 概要 ABL1000シリーズステージは、利用可能な最高性能の小型空気ベアリングステージです。 Aerotechは、業界をリードするモーションコントロールと測位システムの経験と最新技術を組み合わせて、真に優れた小型のリニアエアベアリングステージを作り出しました。 リニアステージ リニアポジショナは、完全にプリロードされた非接触設計です。 ...

リニアポジショニングステージ / トランスレーション / リニア サーボ モーター / 単一軸
リニアポジショニングステージ
AVS, AVSI100 series

ストローク: 25, 6, 13 mm
速度: 0.05 m/s

... 設計特長 長寿命リニアガイドベアリングシステム サブミクロン閉ループ位置決め 低コスト、高性能ステージ 6、13、25mmトラベルモデル 精密接地ボールスクリュー 一体型または取り外し可能なモーター AerotechのAVS100/AVSI100シリーズステージは、必要とするアプリケーションのためのソリューションを提供します水平面上の標高における非常に小さな増分移動。 薄型で正確な動作能力を備えているため、半導体ウェーハの検査とテスト、光ファイバーのアセンブリと検査、自動工具アライメント、マシンビジョン検査システム、レーザー加工アプリケーションでの使用に最適です。 ...

リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / マルチ軸
リニアポジショニングステージ
SLS-3232

ストローク: 21 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-3232 リニアステージの最小は、わずか32 x 32 mm²のフットプリントと21mmのトラベル範囲を提供し、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムに簡単に統合できるように一貫して設計されました。は、当社の回転ステージまたは他のSLSまたはMLSリニアステージを取り付けるために完璧にマッチしています。 これらは、モジュール性と簡単な構成がトップレベルの要件である場合に最適なオプションです。 トラベル ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / 精密
リニアポジショニングステージ
SLS-3252

ストローク: 31 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-3252 SLS-32シリーズの中間サイズステージは、31mmの移動範囲を提供し、わずか32 x 52 mm²のフットプリントを維持し、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムに簡単に統合できるように一貫して設計されました。取付穴パターンは、当社の回転ステージまたはSLS、DLS、MLSシリーズの他のリニアステージを取り付けるために完璧にマッチしています。 これらは、モジュール性と簡単な構成がトップレベルの要件である場合に最適なオプションです。 ...

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SmarAct GmbH
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / 閉ループ
リニアポジショニングステージ
SLS-5252

ストローク: 31 mm
速度: 0.02 m/s

... SLS-5252 SLS-52リニアステージの中で最も小さいステージは、52×52mm²のフットプリント、31mmのトラベル範囲、直径9mmのアパーチャを提供します。 さらに、最大20 Nのペイロードを処理することができます。 SLSシリーズのリニアステージは、多軸システムへの容易な統合を可能にするように一貫して設計されました。それらの取り付け穴パターンは、SLS、MLS、DLSシリーズの線形他のステージと当社の回転をマウントするために完全に一致していますステージとゴニオメーター。 ...

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SmarAct GmbH
XYポジショニングステージ / 電動 / 2軸 / 精密
XYポジショニングステージ
LXY series

ストローク: 15 mm - 25 mm

コギング無し、ネジ送り機構のないダイレクトドライブ方式の電動XYステージです。ストローク15mmと25mmの機種で展開。エンコーダ分解能5ミクロン標準装備、0.1μmまでオプション対応。高精度の位置決めや高速でのスキャニングに最適です。100%データ集計&フィードバック機能搭載。寸法計測、品質検査などの用途にも使用されています。

XYポジショニングステージ / XYZ / Z軸 / モーター式
XYポジショニングステージ
FSL60 Series

ストローク: 100 mm - 1,200 mm
速度: 300 m/s

【Technical Feature】 FSL60 linear guide, fully sealed structure, body width 60mm, it is designed for dustproof usage in hard environment, avoid dust or miscellaneous debris fall into body structure to affect working, large stretch,small ...

回転ポジショニングステージ / 圧電 / マルチ軸 / 閉ループ
回転ポジショニングステージ
COR-RS

... ナノメートルおよびサブナノメートルシフトに到達することは容易ではなく、しばしば外乱の存在によって制限されます。このため、Phi Driveの回転テーブルには、ノイズを制限するために特別に開発された電子機器が搭載されており、その堅牢性を高めています。 COR-RSシリーズの全製品に圧電技術とフレクシャー型機構を採用しており、これらの技術を組み合わせることで、高いカスタマイズ性を生かした高性能化を実現しています。 +/- 360°回転 高い角度分解能 カスタマイズ:性能と寸法 クローズドループ制御 高真空レイアウトが可能 液体環境での作業 多軸システムのためのモジュラーソリューション ...

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COMESTERO SISTEMI
リニアポジショニングステージ / 圧電 / 1軸 / マルチ軸
リニアポジショニングステージ

ストローク: 10 mm - 50 mm
速度: min 15.0 mm/s

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COMESTERO SISTEMI
傾斜ポジショニングステージ / 圧電 / 単一軸 / ミニチュア
傾斜ポジショニングステージ
DK-M3-RS-U-1M-20

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COMESTERO SISTEMI
回転ポジショニングステージ / モーター式 / 閉ループ / 精密
回転ポジショニングステージ
RTGA-62-130E

... RTGAシリーズは、高精度な角度位置決め精度と高負荷容量を兼ね備えた電動回転ステージです。ステージサイズは、中心開口部が32mmから100mmまでの3つのサイズがあり、さまざまな運転条件に応じて負荷容量、トルク、速度、分解能を最適化します。クロスローラベアリングにより、省スペースでオフセンター荷重に対応します。単一のモノリシック設計により、動的性能を損なうことなく剛性が向上しています。ギア/ピニオン機構により、正確な回転が保証されています。RTGAステージは、オープンループステッピングモータまたはプログラム可能な分解能を持つクローズドループサーボステップモータによって駆動され、サブアーク秒の角度分解能を提供します。 ...

回転ポジショニングステージ / モーター式 / 閉ループ / 精密
回転ポジショニングステージ
RTGA-100-200E

... RTGAシリーズは、高精度な角度位置決め精度と高負荷容量を兼ね備えた電動回転ステージです。ステージサイズは、中心開口部が32mmから100mmまでの3つのサイズがあり、さまざまな運転条件に応じて、負荷容量、トルク、速度、分解能を最適化することができます。クロスローラベアリングにより、省スペースでオフセンター荷重に対応します。単一のモノリシック設計により、動的性能を損なうことなく剛性が向上しています。ギア/ピニオン機構により、正確な回転が保証されています。RTGAステージは、オープンループステッピングモータまたはプログラム可能な分解能を持つクローズドループサーボステップモータによって駆動され、サブアーク秒の角度分解能を提供します。 ...

リニアポジショニングステージ / ミニチュア / 閉ループ / 内蔵型コントローラー付
リニアポジショニングステージ
X-LHM-E series

... Zaberの最近リリースされたX-LHM-Eリニアステージは、コントローラとモータエンコーダを内蔵したXシリーズファミリに加わり、他のXシリーズデバイスと電力およびデータをデイジーチェーン接続し、手頃な価格で提供します。 標準の24または48V 電源のみを必要とするこれらの小型ステージは、小型のプロファイルが必要なアプリケーションに最適です。 内蔵のモータエンコーダにより、クローズドループ動作とスリップ/ストール復旧が可能です。オプションのインデックス付きノブにより、コンピュータがなくても汎用性の高い操作を実現する便利な手動制御が可能です。 ...

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Zaber Technologies
リニアポジショニングステージ / モーター式 / 閉ループ / 内蔵型エンコーダー付き
リニアポジショニングステージ
X-LSQ-E series

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Zaber Technologies
リニアポジショニングステージ / XYZ / Z軸 / モーター式
リニアポジショニングステージ
X-LRM-DE series

ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 0.000000029 m/s - 0.1 m/s

... Zaberの新しいクローズドループリニアステージであるX-LRM-DEは、熱安定性と優れた剛性を提供する硬化スチール構造と再循環ボールベアリングガイドを備えています。 内蔵リニアエンコーダは、デバイスの全走行時に高精度な位置決めを提供します(200 mm 以上 15 µm 精度)。 これらのステージは、カンチレバー荷重下で優れた安定性が求められる多軸構成やアプリケーションに最適です。 ZaberのすべてのXシリーズ製品と同様に、X-LRM-DEはデータとパワーをデイジーチェーン接続できます。 ...

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Zaber Technologies
トランスレーションポジショニングステージ / 圧電 / 閉ループ
トランスレーションポジショニングステージ
NDS70

ストローク: 15 mm
速度: 1 mm/s

トランスレーションポジショニングステージ / 圧電 / 閉ループ / ミニチュア
トランスレーションポジショニングステージ
NDS70

回転ポジショニングステージ / 圧電 / 電動 / 手動式
回転ポジショニングステージ
481 series

... 481高性能回転ステージは、実装部品または1インチ光学系でスムーズな回転を実現し、標準性能の代替品に対する感度と制御性を向上させます。オプションのPRA-05アダプタを使用すると、1/2インチ光学系がサポートされます。 1インチ光学用のねじ口径による正確な回転 感度の向上により、360°を超えるスムーズな平行移動 マイクロメータまたは調整スクリューによる直線駆動移動 直径1/2 インチの光学系を取り付けるためのアダプターが利用可能で、 360°粗い回転-5°微細回転481 ...