トランスレーションポジショニングステージ NDS70

圧電閉ループ

クローズドループ用(分解能50nmまで) NOVAシステム用 NOVAシステム用ピエゾ電気慣性駆動式小型平行移動ステージ。標準版 技術データ 幅 - 70 mm 高さ - 20 mm 深さ - 70 mm 速度 - 1 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力（Fx）- 9 N 支持力（Fy、Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um