トランスレーションポジショニングステージ NDS70
圧電閉ループ

トランスレーションポジショニングステージ
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特徴

方向
トランスレーション
タイプ
圧電
その他の特徴
閉ループ
ストローク

15 mm
(0.591 in)

速度

1 mm/s

詳細

70 x 70のmmの足跡の15のmm旅行 のためクローズド・ループ(50までnm決断) 新星システムのため 新星システムのためのpiezo電気慣性ドライブが付いているミニチュア翻訳段階。決定版

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