トランスレーションポジショニングステージ MS30

圧電小型

クローズドループオペレーション用（最大50nmの分解能） アダプタープレートなしの多軸コンビネーション 測定システム付きピエゾ電気慣性駆動小型並進ステージ。 技術データ 幅 - 52 mm 高さ - 12.5 mm 奥行き - 30 mm 速度 - 1.2 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N 支持力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 170 arc sec ピッチ角 - 160 arc sec 垂直偏差 - 3 um 横方向偏差 - 3 um 測定情報 リファレンスマーク - 中央 分解能 - 1um～50nm 電源電圧 - 5 V 消費電力 - 150 mA