リニアポジショニングステージ MS38
圧電小型真空対応

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
タイプ
圧電
その他の特徴
小型, 真空対応
ストローク

8 mm
(0.315 in)

速度

1.5 mm/s

詳細

10^ (- 6) mbarまでの高真空の条件のため 38 x 42のmmの足跡の8つのmm旅行 光線の道のための10のmmの自由な開き 自由な開始dia 10mmおよびpiezo電気慣性ドライブが付いているミニチュアtranslastionの段階。MS 38のVaccuumの版。

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