- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- リニアポジショニングステージ
- mechOnics ag
リニアポジショニングステージ MS38圧電単軸小型
お気に入りに追加する
商品比較に追加する
特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 小型, 真空対応
- ストローク
8 mm
(0.315 in)- 速度
1.5 mm/s
- 積載量
32 g
(1.13 oz)
詳細
10^(-9)mbarまでの高真空条件用
光線通過用フリーアパーチャー10mm
直径10mmの自由開口とピエゾ電気慣性駆動を備えた小型並進ステージ。MS 38のUHV版。
技術データ
幅 - 38 mm
高さ - 9.5 mm
深さ - 40 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 4 Ncm
モーメンタム (My) - 4 Ncm
モーメンタム (Mz) - 4 Ncm
ブロック力 (Fx) - 4.5 N
支持力（Fy, Fz） - 20 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
---
カタログ
この商品のカタログはありません。
mechOnics agの全カタログを見る
