トランスレーションポジショニングステージ MS38

圧電小型

光線通過のための10mmの自由開口部 光学システム用特別設計 直径10mmの自由開口とピエゾ電気慣性駆動を備えた小型並進ステージ。 技術データ 幅 - 38 mm 高さ - 9.5 mm 奥行き - 40 mm 速度 - 1.5 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 4 Ncm モーメンタム（My） - 4 Ncm モーメンタム（Mz）- 4 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N ベアリング力（Fy、Fz）- 20 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直方向偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um