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トランスレーションポジショニングステージ MS15圧電小型コンパクト
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特徴
- 方向
- トランスレーション
- タイプ
- 圧電
- その他の特徴
- コンパクト, 小型
- ストローク
3.5 mm
(0.138 in)- 速度
1.5 mm/s
- 積載量
6 g
(0.21 oz)
詳細
コンパクト設計
最小の製品
ピエゾ電気慣性駆動の超小型並進ステージ。
技術データ
幅 - 15 mm
高さ - 7 mm
深さ - 15 mm
速度 - 1.5 mm/s
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 4 Ncm
モーメンタム（My） - 4 Ncm
モーメンタム（Mz）- 4 Ncm
ブロック力（Fx）- 3 N
ベアリング力（Fy、Fz）- 20 N
誘導精度
ヨー角 - 20秒角
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直方向偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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