最大15 Nの駆動力
最大1 nmの繰り返し精度 50 x 50 mmのフットプリントで10 mmの移動量
超小型多相ステージ
NOVAコントローラシステム用
新世代のNOVAコントローラ・デバイス用の新しいDSP50リニアステージは、10mmの移動範囲で最大16Nのブロック力を扱うことができます。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最高1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。
光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野(光学測定や調整など)に利点をもたらします。
新型リニアステージDSP50は、新世代のNOVAコントローラに対応し、10mmの移動範囲で最大16Nのブロック力に対応します。専門のマルチフェーズコントローラーにより、最大1mm/sのスピードと、複数のピエゾ慣性駆動による極めて均一な動きを実現します。
光学センサーにより、1nmの精度と高い再現性で動きを検出します。
リニアステージは、一軸、二軸、三軸位置決めシステムとして、標準および真空条件で使用できます。
非常にコンパクトな設計、再現性、卓越した精度は、多くの使用分野(光学測定や調整など)に利点をもたらします。
技術データ
幅 - 50 mm
高さ - 16 mm
深さ - 50 mm
速度 - 1 mm/s
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 6.5 Ncm
モーメンタム (My) - 6.5 Ncm
モーメンタム(Mz) - 6.5 Ncm
ブロック力 (Fx) - 16 N
支持力(Fy、Fz) - 0 N
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