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XY軸ポジショニングステージ MS15トランスレーション圧電2軸
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特徴
- 方向
- XY軸, トランスレーション
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 2軸
- その他の特徴
- コンパクト, 真空対応, 小型
- ストローク
10 mm
(0.394 in)- 速度
1.5 mm/s
- 積載量
20 g
(0.71 oz)
詳細
超高真空用コンパクト設計
アダプタープレートなしのxyコンビネーション
UHVアプリケーション用ピエゾ電気慣性駆動超小型並進ステージ。
技術データ
幅 - 22 mm
高さ - 7 mm
奥行き - 15 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 4.5 Ncm
モーメンタム (My) - 1.5 Ncm
モーメンタム (Mz) - 3.2 Ncm
ブロック力（Fx）- 3 N
支持力（Fy、Fz） - 20 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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