リニアポジショニングステージ MS30

電動式圧電多軸

10^(-6)mbarまでの高真空条件用 オールラウンダー アダプタープレートなしの多軸コンビネーション ピエゾ電気慣性駆動による小型並進ステージ。 技術データ 幅 - 30 mm 高さ - 12.5 mm 奥行き - 30 mm 速度 - 1.2 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N 支持力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 120 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um