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リニアポジショニングステージ MS30圧電多軸ボールベアリング
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 多軸
- その他の特徴
- 精密, 小型, 真空対応, ボールベアリング
- ストローク
30 mm
(1.181 in)- 速度
1.2 mm/s
- 積載量
32 g
(1.13 oz)
詳細
10^(-6)mbarまでの高真空条件用
多様な取り付け方法
オールラウンダー
アダプタープレートなしの多軸コンビネーション
ピエゾ電気慣性駆動の小型並進ステージ。
技術データ
幅 - 52 mm
高さ - 12.5 mm
奥行き - 30 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 5 Ncm
モーメンタム (My) - 5 Ncm
モーメンタム (Mz) - 5 Ncm
ブロック力 (Fx) - 4.5 N
支持力（Fy, Fz） - 30 N
誘導精度
ヨー角 - 170 arc sec
ピッチ角 - 170 arc sec
垂直偏差 - 3 um
横方向偏差 - 3 um
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