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XY軸ポジショニングステージ ML17XYZ軸縦型圧電
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特徴
- 方向
- XY軸, XYZ軸, 縦型
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- 小型, 真空対応
- ストローク
5 mm
(0.197 in)- 速度
1 mm/s
- 積載量
25 g
(0.88 oz)
詳細
- 4Kまでの超低温用
- 10^(-9)mbarまでの高真空条件用
ピエゾ電気慣性駆動の超低温用小型移動ステージ。ML 17 の UHV 版。
技術データ
幅 - 17 mm
高さ - 8 mm
奥行き - 32 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 3 Ncm
モーメンタム (My) - 3 Ncm
モーメンタム (Mz) - 3 Ncm
ブロック力（Fx）- 1 N
ベアリング力（Fy, Fz） - 1 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直偏差 - 2 um
横方向偏差 - 1 um
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