XY軸ポジショニングステージ ML17

XYZ軸圧電3軸

-17 x 32 mmのフットプリントで5mmトラベル -4Kまでの超低温 用-最大10^ (-9) mbarの高真空条件用 ピエゾ電気慣性駆動による超低温用ミニチュア翻訳段階。 ML17のUHVエディション。