リニアポジショニングステージ DS40

圧電小型真空対応

10^(-9)mbarまでの高真空条件用 特にフラットなハウジング（高さ11mm） ピエゾ電気慣性駆動の小型並進ステージ。DS 40のUHV版。 技術データ 幅 - 40 mm 高さ - 11 mm 奥行き - 40 mm モーメンタム（Mx） - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム (Mz) - 5 Ncm ブロック力（Fx）- 4.5 N ベアリング力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um