リニアポジショニングステージ MS15

電動式圧電小型

10^(-6)mbarまでの高真空条件用 超コンパクト設計 xyz - コンビネーション可能 ピエゾ電気慣性駆動の超小型並進ステージ。MS15の真空バージョン。 技術データ 幅 - 15 mm 高さ - 7 mm 深さ - 15 mm 速度 - 1.5 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 4 Ncm モーメンタム (My) - 4 Ncm モーメンタム（Mz）- 4 Ncm ブロック力（Fx）- 3 N 支持力（Fy、Fz） - 20 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um