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トランスレーションポジショニングステージ NDS40圧電小型コンパクト
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特徴
- 方向
- トランスレーション
- タイプ
- 圧電
- その他の特徴
- コンパクト, 小型
- ストローク
11 mm
(0.433 in)- 速度
1.5 mm/s
- 積載量
70 g
(2.47 oz)
詳細
NOVAシステム用
コンパクトな筐体
NOVAシステム用ピエゾ電気慣性駆動式小型並進ステージ。
技術データ
幅 - 40 mm
高さ - 13 mm
奥行き - 40 mm
速度 - 1.5 mm/s
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 5 Ncm
モーメンタム（My） - 5 Ncm
モーメンタム（Mz）- 5 Ncm
ブロック力 (Fx) - 4.5 N
ベアリング力（Fy, Fz） - 30 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直方向偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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