リニアポジショニングステージ MS15

電動式圧電3軸

10^(-9)mbarまでの超高真空条件用 超コンパクト設計 15 x 15 mmのフットプリント ピエゾ電気慣性駆動による超小型並進ステージ。MS15のUHV版。 技術データ 幅 - 15 mm 高さ - 7 mm 奥行き - 15 mm 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 4 Ncm モーメンタム (My) - 4 Ncm モーメンタム (Mz) - 4 Ncm ブロック力（Fx）- 3 N 支持力（Fy、Fz） - 20 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um