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リニアポジショニングステージ MS30電動式多軸真空対応
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動式
- 軸の数
- 多軸
- その他の特徴
- 真空対応
- ストローク
18 mm
(0.709 in)- 速度
1.2 mm/s
- 積載量
38 g
(1.34 oz)
詳細
10^(-9)mbarまでの超高真空条件用
オールラウンダー
アダプタープレートなしの多軸コンビネーション
技術データ
幅 - 40 mm
高さ - 12.5 mm
奥行き - 30 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 5 Ncm
モーメンタム (My) - 5 Ncm
モーメンタム (Mz) - 5 Ncm
ブロック力 (Fx) - 4.5 N
支持力（Fy, Fz） - 30 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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