トランスレーションポジショニングステージ MS30

圧電多軸精密

様々な取り付け方法 アダプタープレート不要のオールラウンダー多軸コンビネーション ピエゾ電気慣性駆動の小型並進ステージ。 幅 - 40 mm 高さ - 12.5 mm 奥行き - 30 mm 速度 - 1.2 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム (My) - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N 支持力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 150 arc sec ピッチ角 - 120 arc sec 垂直偏差 - 2 um 横方向偏差 - 2 um